[实用新型]一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片切割装置技术领域，具体涉及一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头。

背景技术

硅片具有禁带宽度大、临界击穿场强高、热导率高等优点，是制作高压、大功率半导体器件的理想材料。由于硅片加工的晶体原料莫氏硬度非常高，加工难度很大。当晶体的直径达到2英寸时，常规的内圆切割机不能有效地工作，必须采用金刚石线切割技术。在使用切片机的过程中经常操作的有两个部位：切片机的加工仓、线管理仓，这两个部位的距离在3米以上；而且要操作的一些指令都在触摸屏的人机画面上面，所以就要求切片机的触摸屏需要具备旋转的功能而且旋转的有效半径在1.5米左右（旋转范围在180°）。随着时代的发展、技术的进步以及客户对产品要求的不断提高，现在的金刚石线切片机的切割速度也在不断的提高。随之带来的对切片机的触摸屏吊挂的使用频率也在不断的增加，与其同时对吊挂接头的磨损也就大幅度增加；最后吊挂接头故障增加，影响了设备的稼动率、增加了设备的维修成本。

实用新型内容

针对现有技术不足，本实用新型提供了一种易于操作的减磨金刚石线切片机旋转接头。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头，其包括设置于底座上的、上部连接触摸屏悬臂吊挂的旋转接头本体，所述的旋转接头本体与触摸屏悬臂吊挂以及底座的连接处装有圆锥滚子轴承，用于实现旋转接头本体的滚动旋转。

进一步地，所述的底座带有限位机构，用于限制旋转接头本体的旋转角度。

进一步地，所述的旋转接头本体内部为中空结构。

与现有技术相比，本实用新型具备的有益效果为：

（1）把现有技术中的滑动摩擦变为滚动摩擦，大大减小了吊挂接头的磨损，同时解决了触摸屏吊挂接头滑动摩擦率大的不足；

（2）减低了工人的操作难度；

（3）在操作中可以限制触摸屏吊挂的旋转角度；

（4）延长吊挂接头的使用寿命、减少故障率、节约成本。

附图说明

图1为现有技术中的呢龙套转动接头结构示意图。

图2为本实用新型的旋转接头结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

图1所示为现有技术中的转动接头，其为由尼龙套转动接头11连接底座12和触摸屏悬臂吊挂13，触摸屏悬臂吊挂13末端为触摸屏14。本实用新型为如图2所示的一种用于硅片切割的金刚石线切片机旋转接头，包括设置于底座22上的、上部连接触摸屏悬臂吊挂23的旋转接头本体21，所述的旋转接头本体21圆柱状，其内部装有圆锥滚子轴承24，用于实现旋转接头本体21的滚动旋转，所述圆锥滚子24分别安装于圆柱状旋转接头本体21的上部与触摸屏悬臂吊挂23连接以及圆柱状旋转接头本体21的下部与底座22连接，使触摸屏悬臂吊挂23和旋转接头本体21的旋转为滚动旋转，大幅度减少或避免吊挂接头的磨损。

进一步地，所述的底座22带有限位机构25，用于限制旋转接头本体21的旋转角度，使旋转接头本体21的旋转角度控制在90~270°，所述的限位机构25为类似卡扣状的结构配合实现限位。

进一步地，所述的旋转接头本体21为圆柱状，包括圆柱状体壁211和内部中空结构212，圆柱状体壁中部为中空夹层213，中空夹层213的上下两端用于安装圆锥滚子轴承24，内部中空结构212用于在其内部接入触摸屏的控制线束等内容。

图2所示的本实用新型的旋转接头结构，相较于图1所示的现有技术中的转动接头，将原有的滑动摩擦变为滚动摩擦，并可以在操作中可以限制触摸屏吊挂的旋转角度，大大减小了吊挂接头的磨损，减小了接头的摩擦力，减低了工人的操作难度，延长吊挂接头的使用寿命、减少故障率、进一步地节约成本。