[实用新型]一种晶圆片清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆片清洗装置，包括清洗槽（1），其特征在于：所述清洗槽（1）内底部竖直设有一根转轴（3）；所述转轴（3）通过设于清洗槽（1）内的电机（2）驱动旋转；所述转轴（3）的上部轴壁上阵列排布有若干夹持臂（4）；所述夹持臂（4）包括水平固定连接在转轴（3）轴壁上的滑轨（401）；所述滑轨（401）远离转轴（3）的一端上部固定连接有一个固定块（402）；所述固定块（402）的上表面具有一个圆弧槽一（403）；所述滑轨（401）上还滑动块连接有一个滑块（404）；所述滑块（404）的上表面具有一个与圆弧槽一（403）相对的圆弧槽二（405）；所述滑块（404）靠近转轴（3）一端的端面通过弹簧一（406）连接在转轴（3）上，且所述弹簧一（406）套设于滑轨（401）上；所述清洗槽（1）的一侧内壁上设有一个水平设置的安装板（5）；所述安装板（5）下部设有一个刷毛朝下的毛刷（6）；所述清洗槽（1）另一侧内壁上设有一根竖直设置且位于固定块（402）上方的喷水管（7），其中所述喷水管（7）位于清洗槽（1）内的一端封闭且下管壁上具有若干出水孔（8）；所述喷水管（7）的进水端通过连接管（9）连接有水泵（10）；所述水泵（10）与水箱（11）连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述滑轨（401）的端部还设有一个对晶圆片（16）进行竖直夹持的夹持件（12），所述清洗槽（1）的侧内壁上连接有一个正对夹持件（12）的喷头（13）；所述喷头（13）连接有热风机（14）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述夹持件（12）包括水平设于滑轨（401）端部内的滑槽（1201）；所述滑槽（1201）内滑动连接有L形板（1202）；所述L形板（1202）位于滑槽（1201）内的端部通过弹簧二（1203）连接在滑槽（1201）的内壁上；

夹持晶圆片（16）时，向外抽L形板（1202），然后将晶圆片（16）插进L形板（1202）上部和滑轨（401）端部之间留出的空隙内，松开L形板（1202），在弹簧二（1203）的回复力作用下，会将L形板（1202）往内拉，从而将晶圆片（16）夹在L形板（1202）和滑轨（401）端部之间。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述清洗槽（1）的底部设有一个出水管（15）。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆片清洗装置，其特征在于：所述电机（2）为防水电机。