[实用新型]一种真空镀膜除气机构有效
申请号: | 201721246909.0 | 申请日: | 2017-09-27 |
公开(公告)号: | CN207483839U | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 王振东;何万能 | 申请(专利权)人: | 苏州诺耀光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 转动辊 导热油 容置空间 转动电极 电热丝 热电偶 本实用新型 除气机构 真空镀膜 加热 除气效率 电性连接 辊面接触 基材表面 均匀加热 热量均匀 通信连接 外壳连接 真空腔体 真空腔 轴承座 基材 杂气 填充 轴承 转动 体内 供电 传递 监测 配合 | ||
本实用新型揭示了一种真空镀膜除气机构,包括外壳,外壳内形成有真空腔体,真空腔体内设有转动辊,转动辊内形成有一容置空间,容置空间内填充有导热油;电热丝,电热丝设置在容置空间内,以加热导热油;热电偶,热电偶也设置在容置空间内,以监测导热油的温度;第一转动电极,第一转动电极与电热丝电性连接;第二转动电极,第二转动电极与热电偶通信连接;转动辊通过轴承和轴承座配合与外壳连接。本实用新型采用第一转动电极为电热丝供电,加热转动辊内的导热油,导热油将热量均匀传递到整个转动辊,基材在与转动辊辊面接触时被均匀加热,可以快速除去基材表面的杂气,具有除气效率高的优点。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体涉及一种真空镀膜除气机构。
背景技术
真空镀膜是采用溅射等方式在基材表面附着镀层的工艺。在对品质要求不高时,可以不进行除气处理。但是对于具有较高品质要求的镀膜,一般要先进行除气处理,以去除基材表面的水气、氮气等杂气,增加基材表面的清洁性,再进行附着镀层的操作。进行除气后的基材进行镀膜,具有镀层均匀,附着力好的优点。
现有技术中通常是使用镀膜设备上各个辊配合,将基材卷材反复卷放,在移动过程中使基材表面的杂气自然挥发消失,但是上述做法费时费力,除气效率不高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜除气机构。
为实现上述实用新型目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种真空镀膜除气机构,包括外壳,所述外壳内形成有真空腔体,所述真空腔体内设有转动辊,所述转动辊内形成有一容置空间,所述容置空间内填充有导热油;
电热丝,所述电热丝设置在所述容置空间内,以加热导热油;
热电偶,所述热电偶也设置在所述容置空间内,以监测导热油的温度;
第一转动电极,所述第一转动电极与所述电热丝电性连接;
第二转动电极,所述第二转动电极与所述热电偶通信连接;
所述转动辊通过轴承和轴承座配合与所述外壳连接。
进一步的,所述第一转动电极包括两个第一定子和两个与所述第一定子对应设置的第一转子,两个所述第一转子分别设置于所述转动辊两侧且与所述转动辊固定连接。
进一步的,所述第二转动电极包括两个第二定子和两个与所述第二定子对应设置的第二转子,两个所述第二转子分别设置于所述转动辊两侧且与所述转动辊固定连接。
相对于现有技术,本实用新型的技术效果在于:
本实用新型采用第一转动电极为电热丝供电,加热转动辊内的导热油,导热油将热量均匀传递到整个转动辊,基材在与转动辊辊面接触时被均匀加热,可以快速除去基材表面的杂气,具有除气效率高的优点。
附图说明
图1是本实用新型实施方式中一种真空镀膜除气机构的结构示意图。
具体实施方式
以下将结合附图所示的具体实施方式对本实用新型进行详细描述。但这些实施方式并不限制本实用新型,本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。
以下提供本实用新型的一种实施方式:
请参见图1,一种真空镀膜除气机构,包括外壳1,所述外壳1内形成有真空腔体11,所述真空腔体11内设有转动辊2,所述转动辊2内形成有一容置空间21,所述容置空间21内填充有导热油;
电热丝3,所述电热丝3设置在所述容置空间21内,以加热导热油;
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