[实用新型]一种提升UV固化反应室的鼓风机皮带使用寿命的装置

说明书

本实用新型提供了一种提升UV固化反应室的鼓风机皮带使用寿命的装置，包括UV固化反应室、与UV固化反应室相连的换热器，所述换热器前端设置鼓风机，所述鼓风机设置有皮带连接的马达皮带轮、张紧轮和鼓风机皮带轮，所述马达皮带轮与鼓风机皮带轮与所述皮带内贴合，所述张紧轮与所述皮带外贴合于所述皮带外侧下方；所述张紧轮的轴心杆连接伸缩连接杆。本实用新型通过在垂直于张紧轮与皮带的切线位置加装带有气缸或导螺杆的固定支架。解决因马达皮带轮、鼓风机皮带轮与皮带之间的贴合度不好而引起的鼓风机的转速达不到预期的效果所带来的风险。此设计可大大减少因皮带形变而无法继续使用必须更换而产生的人力和零件花费开支。

技术领域

本实用新型涉及一种半导体设备，尤其涉及一种提升UV固化反应室的鼓风机皮带使用寿命的装置。

背景技术

LAM C3 VECTOR SOLA设备工艺是在腔体内的高温环境下，通过UV光不间断的照射，对绝缘膜进行处理，减少绝缘膜的介电常数(k)及增强绝缘膜硬度(GPa)。通过退火改变膜的性质，满足工艺的要求。它的特点是晶圆通量高，薄膜均匀度好。

当晶圆在腔体内固化时，鼓风机会对灯箱进行吹扫，其功能如下：

无极灯在磁电管2.45GHz高频微波下激发点亮。当无极灯点亮时，会产生高温大概在1000+℃。为确保无极灯不会在高温下爆裂，需通过鼓风机的吹扫形成一股定向的气流，对其冷却至小于800℃。

无极灯和磁电管被密闭在灯箱中。当无极灯点亮时，遇到空气中的O2会产生O3，O3具有强氧化性会造成零件的损坏。通过鼓风机的吹扫，将N2送入灯箱内，使其保持正压状态，防止空气中的O2泄漏到灯箱中产生O3。

当鼓风机的转速达不到要求时，吹扫所形成一股定向气流的强度会减弱，从而会导致如下风险：

无极灯点亮时达不到预期的冷却效果，导致灯在高温下爆裂。

空气中的O2泄漏到灯箱中，无极灯点亮时产生O3造成零件的损坏。

为了确保以上两个风险不会发生，机台端会实时的监控灯箱内的压力大于13英寸水柱。当压力低于13英寸水柱的范围后，必须更换鼓风机内的零件来确保压力在规格内在损坏的零件中皮带的损坏率最高，是由于鼓风机高速旋转中会产生大量的热，导致皮带在长期的使用过程中变形，周长变长，影响马达皮带轮；鼓风机皮带轮与皮带之间的贴合度。从而影响鼓风机内的转速，达不到预期的效果。当此情况发生时，会产生额外的人力和零件花费。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能微量调节皮带的贴合度，并保持皮带与马达皮带轮和鼓风机皮带轮的紧贴度的提升UV固化反应室的鼓风机皮带使用寿命的装置。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种提升UV固化反应室的鼓风机皮带使用寿命的装置，包括UV固化反应室、与UV固化反应室相连的换热器，所述换热器前端设置鼓风机，所述鼓风机设置有皮带连接的马达皮带轮、张紧轮和鼓风机皮带轮，所述马达皮带轮与鼓风机皮带轮与所述皮带内贴合，所述张紧轮与所述皮带外贴合于所述皮带外侧下方；所述张紧轮的轴心杆连接伸缩连接杆。

为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：

优选的，所述张紧轮的轴心杆凸出于张紧轮外表面。

优选的，所述张紧轮的轴心杆设置有轴心杆连接处用以连接伸缩连接杆。

优选的，所述轴心杆连接处的内径小于所述轴心杆的内径。

优选的，所述轴心杆连接处设置有螺纹拆卸部。

优选的，所述张紧轮的两侧均设置有轴心杆。