[实用新型]一种真空溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201721255637.0 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN207483836U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王振东;何万能 | 申请（专利权）人： | 苏州诺耀光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/56;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属镀层 主辊 收卷辊 平面电磁 导向辊 放卷辊 真空溅射镀膜 本实用新型 高频交变磁场 非结晶状态 塑料薄膜 加热金属 溅射阴极 涡流发热 相对设置 真空腔体 板设置 真空腔 镀层 过热 发热 变形 体内 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空溅射镀膜装置，其特征在于，包括外壳，所述外壳内形成有真空腔体，所述真空腔体内设有放卷辊和收卷辊，所述放卷辊和所述收卷辊之间设有主辊以及与所述主辊相对设置的溅射阴极；
所述放卷辊和所述主辊之间设有第一导向辊，所述主辊和所述收卷辊之间设有第二导向辊和第三导向辊；
还包括平面电磁板，所述平面电磁板设置于所述主辊和所述收卷辊之间，以加热金属镀层。
2.根据权利要求1所述的一种真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述平面电磁板和与其相对的镀膜产品相互平行设置。
3.根据权利要求2所述的一种真空溅射镀膜装置，其特征在于，所述第二导向辊和所述第三导向辊之间的镀膜产品水平设置，所述平面电磁板位于第二导向辊和所述第三导向辊之间且水平设置。
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