[实用新型]一种带击穿检测的加热系统

说明书

本实用新型公开了一种带击穿检测的加热系统，包括电源，连接电源的加热控制器，通过加热控制器进行加热控制的负载，所述电源与加热控制器之间设有断路装置，所述断路装置与加热控制器之间的火线上串联着保险丝，所述加热控制器与负载之间连接着检测器。本实用新型提高了生产的安全性，避免了不必要的损失。

技术领域

本实用新型涉及一种检测加热控制器是否击穿并及时报警的系统。

背景技术

在半导体加工工艺中，通常有很多场合需要进行加热，现有的都是通过加热控制器对负载进行直接加热，但是，并没有对加热控制器的意外进行检测的装置，例如，加热控制器被击穿时，无法第一时间得知，从而造成生产损失。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述现有技术存在的缺陷，提供一种带击穿检测的加热系统，包括电源，连接电源的加热控制器，通过加热控制器进行加热控制的负载，所述电源与加热控制器之间设有断路装置，所述断路装置与加热控制器之间的火线上串联着保险丝，所述加热控制器与负载之间连接着检测器。

优选的，还包括与检测器连接的控制器，与控制器连接的报警装置，所述控制器接收检测器发送的信号，控制所述断路装置断开电源与加热控制器之间的连接，并通知所述报警装置进行报警。

在本技术方案中，所述加热控制器为接触器或固态继电器当中的一种。所述断路装置包括断路器、脱扣器、熔断器。所述检测器为互感器、继电器当中的一种。所述控制器为PLC、DCS、单片机、温度控制器当中的一种。

本实用新型与现有技术相比，具有如下优点：

因在实际应用中，加热控制器（接触器、固态继电器等）击穿故障有一定概率。本实用新型通过检测装置（继电器、互感器等）检测加热控制器（接触器、固态继电器等）的工作状态，能快速准确的判断加热控制器（接触器、固态继电器等）处于击穿状态，实时给控制系统（PLC、DCS、单片机、温控器等）发出信号，由控制系统及时处理并发出报警及采取必要的动作，以免造成不必要的损失。

附图说明

图1为本实用新型的电路原理图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对实用新型进行详细的说明。

如图1所示，本实用新型提出的带击穿检测的加热系统，包括：电源、断路器、脱扣器1、熔断器、加热控制器2、检测装置3及负载4。

电源为三相五线电源，其三根火线的末端均挂着负载，电源的输出端一开始连接着断路装置，断路装置包括断路器、脱扣器、熔断器，断路装置之后的每根火线上都串联着保险丝，然后再介入加热控制器2，加热控制器2由控制器所控制，控制器通过控制加热控制器2对负载4进行加热，在加热控制器与负载之间还连接着检测器。

在本实施例中，加热控制器可以为接触器或固态继电器。检测器可以为互感器或继电器。控制器可以是PLC、DCS、单片机、温度控制器等器件当中的任意一种。

控制器还可以连接一个报警装置，当控制器给加热控制器的线圈给电时，加热控制器2工作，此时检测器3的线圈得电并发出信号给控制器，控制器通过检测器得知加热控制器处于输出状态，为正常；反之，为异常，此时需控制器通知报警装置发出报警，同时显示屏显示相关报警信息。当控制器没有向加热控制器线圈给电时，加热控制器2不工作，如此时控制器通过检测器得知加热控制器处于输出状态，为异常，此时需控制器通知报警装置发出报警，并给脱扣器1线圈给电使断路器立即跳闸断电，同时显示屏显示相应的报警信息。

上述仅为本实用新型的优选实施例，应指出的是，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和变化，这些变化均属落入本专利的保护范围。