[实用新型]一种集成式红外带通滤波器和光谱仪

说明书

本实用新型公开了一种集成式红外带通滤波器和光谱仪。该集成式红外带通滤波器包括一金属层，所述金属层中形成贯通的微米或纳米孔阵列，通过微米或纳米金属孔的光的特征波长λ_max满足以下公式： λ max = a 4 3 ( i 2 + i j + j 2 ) s m s d s m + s d ]]>这里，a表示金属孔的排列周期，i和j表示与阵列散射阶次相关的整数，ε_m和ε_d分别表示金属和介电材料的介电常数。本实用新型的集成式红外带通滤波器可以将大量选通红外波长不同的微型带通滤波器，通过一次加工大规模集成在很小的芯片上，具有高集成度的优点。

技术领域

本实用新型涉及光学领域，特别是涉及一种集成式红外带通滤波器和光谱仪。

背景技术

物质的光谱含有物质的大量化学信息，每一种物质均有对应的特征光谱，因此探测物质的光谱可以分析物质的化学组分，在地理遥感、污染遥感监测、无创医疗诊断以及军事目标的识别等领域具有广泛的应用前景。然而，目前的光谱分析技术主要依赖光栅分光或者多个分立带通滤波片进行分光，前者体积庞大，速度慢，不能满足小型化、快速化的应用要求；而后者只能探测少数几个波长上的信息。本实用新型提出通过刻蚀技术或剥离技术制备垂直纳米或微米柱体、或纳米或微米孔进而进一步形成垂直的金属孔。本实用新型通过一次性大规模形成直径和周期不同的金属孔阵列，对红外入射光在大量波长上进行分光，从而实现微型的高精度的光谱分光。

实用新型内容

本实用新型针对上述技术问题，提出了一种集成式红外带通滤波器及其制造方法和光谱仪，其可以将大量选通波长不同的微型带通滤波器，通过一次加工大规模集成在很小的芯片上，具有高集成度的优点。