[实用新型]用于软硬结合板铜面厚度不均的预蚀刻装置

权利要求书

1.一种用于软硬结合板铜面厚度不均的预蚀刻装置，其特征在于：包括若干组对应设置的上喷管模块和下喷管模块，所述上喷管模块包括上喷管，所述上喷管一端设置有用于喷洒刻蚀液的喷嘴a另一端与设置于刻蚀液槽内的泵a连接，且所述上喷管a上设置有压力调节阀门a，所述压力调节阀门a连接于调节变频器。

2.根据权利要求1所述的一种用于软硬结合板铜面厚度不均的预蚀刻装置，其特征在于：所述上喷管模块和所述下喷管模块均设置于刻蚀台上的设置的刻蚀安装板上，所述刻蚀台上设置有与所述刻蚀安装板相对应的刻蚀液回收槽，且所述刻蚀液槽和所述刻蚀液回收槽通过回收通孔连通。

3.根据权利要求2所述的一种用于软硬结合板铜面厚度不均的预蚀刻装置，其特征在于：所述下喷管模块包括下喷管，所述下喷管一端设置有用于喷洒刻蚀液的喷嘴b另一端与设置于刻蚀液槽内的泵b连接，且所述下喷管上设置有压力调节阀门b，所述压力调节阀门b连接于所述调节变频器。

4.根据权利要求3所述的一种用于软硬结合板铜面厚度不均的预蚀刻装置，其特征在于：所述刻蚀台上设置有用于检测产品厚度的且与所述调节变频器配合使用的厚度检测装置。