[实用新型]一种用于硅片研磨的搅拌装置有效
申请号: | 201721269712.9 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN207463079U | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 范桂林;李茂欣 | 申请(专利权)人: | 上海磐盟电子材料有限公司 |
主分类号: | B01F7/18 | 分类号: | B01F7/18 |
代理公司: | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 刘君 |
地址: | 201611 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 转动轴 安装腔 搅拌罐 转动杆 圆孔 本实用新型 硅片研磨 搅拌装置 旋转电机 搅拌叶 焊接 对称焊接 滑动安装 输出轴 齿条 底端 内壁 延伸 | ||
1.一种用于硅片研磨的搅拌装置,包括搅拌罐(1),其特征在于,所述搅拌罐(1)的上方固定安装有旋转电机(2),所述旋转电机(2)的输出轴上焊接有转动轴(3),所述转动轴(3)的底端延伸至搅拌罐(1)内,且转动轴(3)的两侧等间距焊接有多个转动杆(4),所述转动杆(4)活动位于搅拌罐(1)内,且转动杆(4)的两侧均对称焊接有两个搅拌叶(5),所述转动轴(3)上开设有安装腔(6),所述安装腔(6)的一侧内壁上滑动安装有齿条(7),所述转动轴(3)的一侧开设有圆孔(8),所述圆孔(8)位于搅拌罐(1)的上方,且圆孔(8)与安装腔(6)相连通,所述圆孔(8)内转动安装有转动柱(9),所述转动柱(9)的两端均延伸至圆孔(8)外,且转动柱(9)靠近齿条(7)的一端延伸至安装腔(6)内,且焊接有第一齿轮(10),所述第一齿轮(10)转动安装在安装腔(6)内,且与齿条(7)啮合,所述转动轴(3)的两侧均等间距开设有多个贯穿孔(11),所述贯穿孔(11)与安装腔(6)相连通,所述转动杆(4)靠近转动轴(3)的一端穿过贯穿孔(11)延伸至安装腔(6)内,且焊接有第二齿轮(12),所述第二齿轮(12)与齿条(7)啮合。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的搅拌装置,其特征在于,所述齿条(7)远离第二齿轮(12)的一侧固定安装有滑条,所述安装腔(6)靠近滑条的一侧内壁上固定安装有滑轨,所述滑条滑动安装在滑轨内。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的搅拌装置,其特征在于,所述转动轴(3)的一侧开设有L型滑槽,所述L型滑槽位于圆孔(8)的上方,且与圆孔(8)相连通,所述L型滑槽内滑动安装有L型滑块,所述L型滑块的两端均延伸至L型滑槽外,所述L型滑槽的顶侧内壁上焊接有弹簧,所述弹簧的底端焊接在L型滑块的顶侧上,所述转动柱(9)上环形等间距开设有多个固定槽,所述L型滑块的底端滑动安装在固定槽内。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的搅拌装置,其特征在于,所述搅拌罐(1)的顶侧内壁上开设有第二贯穿孔,所述转动轴(3)转动安转在第二贯穿孔内,且转动轴(3)穿过第二贯穿孔延伸至搅拌罐(1)内。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的搅拌装置,其特征在于,所述旋转电机(2)的底侧焊接有支撑杆,所述支撑杆的底端焊接在搅拌罐(1)的顶侧上。
6.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的搅拌装置,其特征在于,所述圆孔(8)的内壁上滚动安装有滚珠,所述滚珠与转动柱(9)滚动连接。
7.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的搅拌装置,其特征在于,所述搅拌罐(1)的底侧四角位置均焊接有连接杆,所述连接杆的底端固定安装有万向轮。
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