[实用新型]一种底部出料式冷坩埚有效
申请号: | 201721273435.9 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN207262942U | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 张清勇;唐皇哉;胡树金 | 申请(专利权)人: | 睿为电子材料(天津)有限公司 |
主分类号: | F27B14/06 | 分类号: | F27B14/06;F27B14/14;F27B14/10;F27B14/08;F27D9/00 |
代理公司: | 天津市鼎和专利商标代理有限公司12101 | 代理人: | 谢宇强 |
地址: | 300382 天津市西青区学*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 底部 出料式冷 坩埚 | ||
1.一种底部出料式冷坩埚,包括水冷坩埚壁、电磁感应线圈和坩埚盖,所述电磁感应线圈设置在水冷坩埚壁外侧,所述坩埚盖设置在冷坩埚顶部,其特征在于:在水冷坩埚壁底部设有内部水盒和为水冷坩埚壁通入循环冷却水的外部水盒,所述外部水盒与水冷坩埚壁底部固定连接,所述外部水盒中央中空,所述内部水盒的上端从外部水盒的底部中央穿过并伸入至冷坩埚内,所述内部水盒与外部水盒、水冷坩埚壁的内侧壁间隙配合。
2.根据权利要求1所述的一种底部出料式冷坩埚,其特征在于:所述外部水盒包括上进水盒和下出水盒,上进水盒和下出水盒连通。
3.根据权利要求1所述的一种底部出料式冷坩埚,其特征在于:所述外部水盒为中央中空的圆柱体。
4.根据权利要求1所述的一种底部出料式冷坩埚,其特征在于:所述内部水盒的纵截面为凸字型。
5.根据权利要求1所述的一种底部出料式冷坩埚,其特征在于:所述内部水盒的上端伸入冷坩埚内部的高度为3cm。
6.根据权利要求1所述的一种底部出料式冷坩埚,其特征在于:所述内部水盒上设有冷却水进出水口。
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