[实用新型]刻蚀下料新型导向机构

权利要求书

1.刻蚀下料新型导向机构，包括机架(1)，所述机架(1)上均匀分布设有传送架(2)，所述传送架(2)上设有传送带(3)，其特征在于，所述传送架(2)沿传送带(3)传送方向两外侧壁上对称设有导向条(4)，所述导向条(4)的长轴方向与传送带(3)的传送方向平行；所述传送带(3)用于传送硅片(5)，所述硅片(5)的底部同时与传送带(3)两侧的导向条(4)摩擦接触，且导向条(4)与硅片(5)的接触面积沿传送方向逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的刻蚀下料新型导向机构，其特征在于，所述导向条(4)与硅片(5)的接触面呈直角梯形，且所述直角梯形的直角腰与传送带(3)的传送方向平行。

3.根据权利要求1所述的刻蚀下料新型导向机构，其特征在于，所述导向条(4)可拆卸连接于传送架(2)上。

4.根据权利要求3所述的刻蚀下料新型导向机构，其特征在于，传送架(2)的两外侧壁上均凸设有安装板(6)，所述安装板(6)上设有螺纹安装孔(7)，所述导向条(4)的轴向一端开设有通孔(8)，通过螺栓(9)穿过所述通孔(8)、螺纹连接旋入安装孔(7)内将导向条(4)压紧固定在安装板(6)上。

5.根据权利要求4所述的刻蚀下料新型导向机构，其特征在于，所述导向条(4)上的通孔(8)为沉头孔。

6.根据权利要求4所述的刻蚀下料新型导向机构，其特征在于，所述安装板(6)上设有至少两个安装孔(7)，所述安装孔(7)沿垂直于传送带(3)的传送方向上呈直线状排布。

7.根据权利要求4所述的刻蚀下料新型导向机构，其特征在于，所述安装板(6)上还凹设有限位槽(10)，所述导向条(4)朝向安装板(6)的外壁上凸设有与所述限位槽(10)适配限位块，所述限位块过渡配合嵌入限位槽(10)内固定以限制导向条(4)在径向方向上摆动。

8.根据权利要求4所述的刻蚀下料新型导向机构，其特征在于，所述传送架(2)的两外侧壁上还可拆卸连接设有支撑板(11)，所述支撑板(11)上开设有支撑槽(12)，所述支撑槽(12)的延伸方向与传送带(3)的传送方向平行、用于容纳导向条(4)的中部段。

9.根据权利要求8所述的刻蚀下料新型导向机构，其特征在于，所述支撑槽(12)的内侧壁上设有弹簧凸起(13)，所述导向条(4)位于支撑槽(12)内条段通过弹簧凸起(13)的恢复力作用压紧固定。

10.根据权利要求1所述的刻蚀下料新型导向机构，其特征在于，所述机架(1)上设有至少两排传送架(2)，沿传送带(3)的传送方向上，相邻两排传送架(2)上的两条导向条(4)之间的间距逐渐减小。