[实用新型]流体系统

权利要求书

1.一种流体系统，集成化制出，其特征在于，包含:

一流体作动区，由至少一个导流单元所构成，该导流单元包含：

一入口板，具有至少一入口孔；

一基材；

一共振板，具有一中空孔洞，且该共振板与该入口板之间具有一第一腔室；

一致动板，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；

一压电元件，贴附于该致动板的该悬浮部的一表面；以及

一出口板，具有一出口孔；

其中，该入口板、该基材、该共振板、该致动板及该出口板是依序对应堆叠设置，该共振板及该致动板之间具有一间隙形成一第二腔室，该致动板及该出口板之间形成一第三腔室，该压电元件驱动该致动板产生弯曲共振，以使该第二腔室及该第三腔室形成一压力差，使流体由该入口板的该入口孔进入该第一腔室而流经该共振板的该中空孔洞，以进入该第二腔室内，并由该至少一空隙导入该第三腔室内，且由该出口板的该出口孔导出以传输流体；

一流体通道，连通该流体作动区的该出口孔，并具有多个分歧通道，使该流体作动区所传输的流体得以分流构成需求传输量；

一汇流腔室，连通于该流体通道中，供流体累积在该汇流腔室内；

一感测元件，设置于该流体通道中，用以感测该流体通道内的流体；以及

多个阀，设置于该分歧通道中，借由控制其启闭状态而控制流体由该分歧通道中输出。

2.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该流体作动区由多个导流单元以串联排列设置以传输流体流动。

3.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该流体作动区由多个导流单元以并联排列设置以传输流体流动。

4.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该流体作动区由多个导流单元以并串联排列设置以传输流体流动。

5.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该流体作动区由多个导流单元以环状方式排列设置以传输流体流动。

6.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该流体作动区由流动多个导流单元以蜂巢状方式排列设置以传输流体流动。

7.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该多个分歧通道的长度依需求特定传输量来预先设定。

8.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该多个分歧通道的宽度依需求特定传输量来预先设定。

9.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该多个阀中的每一者包含：

一通道基材，具有一第一通孔及一第二通孔相互隔开设置，且连通该分歧通道，以及该通道基材凹设一腔室，该腔室设置有连通该第一通孔的第一出口，以及设置有连通该第二通孔的第二出口；

一压电致动器，由一载板以及该载板的一表面上所贴附的一压电陶瓷所构成，且封盖该腔室；及

一连杆，连接该载板的另一表面，并穿伸入该第二出口中自由位移，且该连杆一端具有截面积大于该第二出口的孔径的一挡阻部，以封闭该第二出口；

其中，该压电致动器受致动而驱动该载板位移，连动该连杆的该挡阻部控制该第二出口的启闭状态，以控制流体由该分歧通道输出。

10.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该多个阀由一控制器控制其启闭状态。

11.如权利要求10所述的流体系统，其特征在于，该控制器与该导流单元以系统封装构成一集成化的结构。

12.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该多个分歧通道以串联排列设置。

13.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该多个分歧通道以并联排列设置。

14.如权利要求1所述的流体系统，其特征在于，该多个分歧通道以串并联排列设置。