[实用新型]一种阀门开度自动修正的数字式气体流量控制器

权利要求书

1.一种阀门开度自动修正的数字式气体流量控制器，其特征在于，包括：气瓶、中控器、数字式气体阀门和传感器组；

气瓶，提供质谱仪需要的高压气体；

中控器，用以执行上位机的指令，接收并执行阀门开度指令；

数字式气体阀门，通过接收中控器的数字指令，调整流量范围；

传感器组，实时监控气体的各项参数并传递给中控器。

2.根据权利要求1所述的一种阀门开度自动修正的数字式气体流量控制器，其特征在于，所述中控器还包括：控制芯片和通讯系统。

3.根据权利要求2所述的一种阀门开度自动修正的数字式气体流量控制器，其特征在于，所述中控器用以解码上位机的指令，读取传感器组的参数，控制数字阀门的开度，返回传感器组的值至上位机，实时修正数字阀门的参数。

4.根据权利要求1所述的一种阀门开度自动修正的数字式气体流量控制器，其特征在于，数字式阀门还包括：数字通讯芯片、阀门、电机组和驱动电路。

5.根据权利要求1所述的一种阀门开度自动修正的数字式气体流量控制器，其特征在于，传感器组还包括：流量传感器、气体压力传感器和气体温度传感器；所述传感器组用以实时监控气体的各项参数并传递给中控器。