[实用新型]一种多功能晶圆片传片装置有效
| 申请号： | 201721291284.X | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN207367946U | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 尚荣耀;洪常峰;涂培明;张建仁 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;陈淑娴 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 晶圆片传片 装置 | ||
1.一种多功能晶圆片传片装置，其特征在于：包括底座、两个固定组件以及至少一推片组件；所述两个固定组件于底座上前后相对设置并分别用于固定晶圆片盒，其中各固定组件分别包括用于控制相应晶圆片盒前后位置的第一固定机构和用于控制相应晶圆片盒左右位置的第二固定机构，所述两个固定组件中的至少一个还包括用于控制相应晶圆片盒上下位置的第三固定机构；所述推片组件设于底座上以用于将一晶圆片盒内的晶圆片推入另一晶圆片盒之内。
2.根据权利要求1所述的多功能晶圆片传片装置，其特征在于：所述第一固定机构包括左右相对设置的两组第一导轨和卡槽，所述第一导轨沿前后方向延伸，所述卡槽滑动设于第一导轨上；所述第一固定机构还包括用于带动卡槽于第一导轨上前后运动的第一手柄。
3.根据权利要求2所述的多功能晶圆片传片装置，其特征在于：所述第二固定机构包括左右相对设置的两组第二导轨和卡块，所述第二导轨设于相应固定组件的第一导轨外侧并沿左右方向延伸，所述卡块滑动设于第二导轨上；所述第二固定机构还包括用于带动卡块于第二导轨上左右运动的第二手柄。
4.根据权利要求3所述的多功能晶圆片传片装置，其特征在于：所述第三固定机构包括升降平台和用于带动升降平台上下运动的第三手柄，相应固定组件的第一导轨和第二导轨设于所述升降平台上。
5.根据权利要求1所述的多功能晶圆片传片装置，其特征在于：所述推片组件包括推杆和抵推件，所述推杆可前后移动的设于一固定组件背离另一固定组件的一侧，所述抵推件设于推杆末端并与晶圆片盒相配合。
6.根据权利要求5所述的多功能晶圆片传片装置，其特征在于：包括两个所述推片组件，分别设于所述两个固定组件外侧并与所述两个固定组件一一对应。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
