[实用新型]一种石英炉门减震装置

说明书

本实用新型提出了一种石英炉门减震装置，所述炉体口部设有安装架，所述炉门上连接有推动机构，所述推动机构包括底座、安装于所述底座下部的气缸，所述气缸输出端与所述安装架连接，并通过气缸带动所述炉门靠近所述炉体；所述安装架上设有缓冲机构，所述缓冲机构指向所述底座，本装置在石英炉门推进气缸后面添加一个液压缓冲器，可手动调节缓冲阻尼。炉门与反应管接触前，先与缓冲器接触，用这样的方式给推进气缸添加一个外部阻尼，使炉门与反应管平稳、缓慢接触，避免因上述原因损坏炉门和反应管，又能不影响反应室密封性。

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及石英炉门减震装置。

背景技术

在光伏行业电池车间，扩散是整个电池片的心脏工序，维持扩散设备稳定尤为重要。由于扩散工序工艺(POCL+H2O＝＝P2O5+HCL；P2O5+Si＝＝SiO2+P,其中三氯氧磷POCL为剧毒化学品，反应温度800℃)决定，扩散工艺化学反应必须在石英制品室内进行，而且对反应室密封性要求也很高。

我们现阶段设备状况为了满足上述工艺要求，必然会造成反应管和石英炉门的损坏频繁，从而影响工艺稳定和生产安全。原因主要有以下几点1、为了满足炉口密封性，气缸推进行程会比炉门与反应管刚接触到的行程大(一般大1-2mm)，有一定比例损坏炉门和反应管。2、在调节炉门的时候，不可能调成炉门整个面和反应管端面完美接触，总会有一个点先接触，这种情况是造成炉门和反应管破裂损坏的主要原因。3、在出现推进气缸因高温损坏漏气，单向阀因高温损坏失去调节作用时，炉门会以很快的速度推进，直接碰撞在反应管上，出现这种情况基本上炉门、反应管直接报废。

实用新型内容

解决上述技术问题，本实用新型提出了一种石英炉门减震装置，所述炉体口部设有安装架，所述炉门上连接有推动机构，所述推动机构包括底座、安装于所述底座下部的气缸，所述气缸输出端与所述安装架连接，并通过气缸带动所述炉门靠近所述炉体；所述安装架上设有缓冲机构，所述缓冲机构指向所述底座。

优选的，所述缓冲机构包括固定于所述安装架上的固定架，所述固定架上设有液压缓冲器，所述液压缓冲器输出端连接有橡胶块并指向所述底座。

优选的，所述液压缓冲器末端设有阻尼调节器。

优选的，所述固定架为L形。

优选的，所述液压缓冲器外部设有螺帽，所述螺帽与所述固定架连接。

本实用新型提出的石英炉门减震装置有以下有益效果：本装置在石英炉门推进气缸后面添加一个液压缓冲器，可手动调节缓冲阻尼。炉门与反应管接触前，先与缓冲器接触，用这样的方式给推进气缸添加一个外部阻尼，使炉门与反应管平稳、缓慢接触，避免因上述原因损坏炉门和反应管，又能不影响反应室密封性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的缓冲机构的示意图；

其中，1、炉门；2、炉体；3、安装架；4、底座；5、气缸；6、缓冲机构；7、液压缓冲器；8、橡胶块；9、阻尼调节器；10、螺帽；11、固定架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。