[实用新型]MEMS振动传感器的分送装置

说明书

本实用新型涉及一种MEMS振动传感器的分送装置，MEMS振动传感器专用于对旋转机械的振动监测分析、故障诊断。而这种MEMS振动传感器的分送装置可以将检测完成的MEMS振动传感器用机械手抓取起来，合格品便横放在输送带上，直接运送到合格品周转箱内，不合格品将被机械手竖直放置在输送带上，随后被传感器检测到后会被推料气缸推到不合格品料道，最终进入不合格品周转箱。这样便可以自动完成MEMS振动传感器的分类，效率较高，避免分类出错的情况。

技术领域

本实用新型涉及一种MEMS振动传感器的分送装置，用于对MEMS振动传感器进行分类输送。

背景技术

MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanicalSystem），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过几十年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。目前，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中微传感器占相当大的比例。微传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。本文概述国内外目前已实现的微机械传感器特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。

MEMS振动传感器专用于对旋转机械的振动监测分析、故障诊断，然而MEMS振动传感器的精度要求较高，因此在其生产完成后需要送入检验部门检测传感器性能是否达标，检测完成后需要人工进行合格品和不合格品的分类，并放在不同的收集箱中。然而人工分类经常会出现分错的情况，出现不合格品混杂在合格品中，影响了产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是在于克服上述不足，提供一种可以有效分类，保证产品质量的MEMS振动传感器的分送装置。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种MEMS振动传感器的分送装置，该分送装置通过传送带来运送完成测试的MEMS振动传感器，传送带通过滚轮和皮带驱动，传送带表面沿其长度方向开设有一条长槽，该长槽的宽度大于MEMS振动传感器底部螺栓的直径，所述传送带前端的旁边设有机械手，机械手用于将检测好的MEMS振动传感器夹住并转运到传送带上，所述传送带中间一旁设有传感器，所述传感器高于传送带，传感器的探头与传送带之间的高度差大于MEMS振动传感器水平放置时的高度，但小于MEMS振动传感器竖直放置时的高度，传送带在传感器的后侧设有推料气缸，并且传送带在相对于推料气缸的一侧设有不合格品料道，不合格品料道与传送带相连通且斜向下设置，推料气缸工作时可将MEMS振动传感器推到不合格品料道中，而传送带的末端与成品料道相连。

所述机械手、传感器、推料气缸均与PLC控制系统相连，由PLC控制系统进行的自动化输送，该PLC系统还与MEMS振动传感器的检测系统数据交互。

本实用新型具有的有益效果是：

这种MEMS振动传感器的分送装置将检测完成的MEMS振动传感器用机械手抓取起来，合格品便横放在输送带上，直接运送到合格品周转箱内，不合格品将被机械手竖直放置在输送带上，随后被传感器检测到后会被推料气缸推到不合格品料道，最终进入不合格品周转箱。这样便可以自动完成MEMS振动传感器的分类，效率较高，避免分类出错的情况。

附图说明

图1为本实用新型MEMS振动传感器的分送装置的结构示意图。