[实用新型]一种等速率升降温烘箱

说明书

本实用新型公开了一种等速率升降温烘箱，包括冷气柜、电控柜和位于冷气柜、电控柜之间的烘烤工作柜，冷气柜内设有依次连接的强制进风机、空气过滤组、热交换组，电控柜内设有控制系统，烘烤工作柜内的上部设有排风系统、中部设有循环风机和加热系统、下部为烘烤工作区，排风系统一侧通过管道连接至热交换组，排风系统的另一侧连接有进风管，进风管的末端与烘烤工作柜内的中部连通，烘烤工作区内设有工作区感温器，进风管内设有进气感温器，排风系统的风门处设有风门定位器，工作区感温器、进气感温器、风门定位器、排风系统的风门驱动马达均连接至控制系统。本实用新型可实现高稳定的等速率升温和降温，提高烘烤质量。

技术领域

本实用新型涉及烘烤设备领域，尤其涉及一种等速率升降温烘箱。

背景技术

传统的半导体行业中晶圆油墨涂布后固化，液晶显示屏玻璃清洗烘干、线路烤固等精密制程所使用的烘烤设备的工作区、进风区和排风区均未设置感温装置，从而不能稳定的等速升温、降温，导致烘烤质量不高。

实用新型内容

本实用新型的目的是，提供一种等速率升降温烘箱，可实现高稳定的等速率升温和降温，等速率数值可自动调整，升温和降温等速率智能自动控制，提高烘烤质量。

为实现该目的，提供了一种等速率升降温烘箱，包括冷气柜、电控柜和位于冷气柜、电控柜之间的烘烤工作柜，冷气柜内设有依次连接的强制进风机、空气过滤组、热交换组，电控柜内设有控制系统，烘烤工作柜内的上部设有排风系统、中部设有循环风机和加热系统、下部为烘烤工作区，排风系统一侧通过管道连接至热交换组，排风系统的另一侧连接有进风管，进风管的末端与烘烤工作柜内的中部连通，所述烘烤工作区内设有工作区感温器，进风管内设有进气感温器，排风系统的风门处设有风门定位器，工作区感温器、进气感温器、风门定位器、排风系统的风门驱动马达均连接至控制系统。

优选地，所述热交换组还连接有冰水进出口。

优选地，所述热交换组上设有冷却水循环比例阀，冷却水循环比例阀连接至控制系统。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果在于：

本实用新型可实现高稳定的等速率升温和降温，等速率数值可自动调整，升温和降温等速率智能自动控制，提高烘烤质量。

附图说明

图1为本实用新型的等速率升降温烘箱的立体示意图。

图2为本实用新型的等速率升降温烘箱的内部示意图。

图3为本实用新型的排风系统的示意图。

具体实施方式

下面结合实施例，对本实用新型作进一步的描述，但不构成对本实用新型的任何限制，任何在本实用新型权利要求范围所做的有限次的修改，仍在本实用新型的权利要求范围内。