[实用新型]一种纳米硅粉制备的加热装置

权利要求书

1.一种纳米硅粉制备的加热装置，其特征在于：包括硅粉输送管道(1)、硅升华通道(2)和等离子电弧加热器(8)，等离子电弧加热器(8)由阳极(3)、阴极(6)、外绝缘保护套(4)、内绝缘填料(5)和驱动系统(7)构成，驱动系统包括驱动螺杆(701)、驱动调节器(702)、变压器(703)、驱动电机(704)和驱动螺孔(705)，驱动电机(704)与驱动调节器(702)电性连接，阳极喷嘴(301)与硅升华通道(2)相连通，外绝缘保护套(4)内填有内绝缘填料(5)，阳极水冷空腔(303)、冷却水出口(304)、冷却水管道(305)、阴极冷却水通道(601)、阴极水冷空腔(603)和冷却水进水管(604)构成了水冷回路，阴极外壁设有螺旋气体通道(605)和工作气体通道(606)，构成阴极气流工作段。

2.根据权利要求1所述的一种纳米硅粉制备的加热装置，其特征在于：所述驱动系统(7)设有变压器(703)调控输出电压。

3.根据权利要求1所述的一种纳米硅粉制备的加热装置，其特征在于：所述内绝缘填料(5)为耐高温树脂。

4.根据权利要求1所述的一种纳米硅粉制备的加热装置，其特征在于：可通过调节隔离腔(302)的大小改变阳极喷嘴的输出功率。

5.根据权利要求1所述的一种纳米硅粉制备的加热装置，其特征在于：所述阳极水冷空腔(303)、冷却水出口(304)、冷却水管道(305)、阴极冷却水通道(601)、阴极水冷空腔(603)和冷却水进水管(604)构成了水冷回路。

6.根据权利要求1所述的一种纳米硅粉制备的加热装置，其特征在于：所述驱动螺杆(701)和驱动螺孔(705)螺母连接。

7.根据权利要求1所述的一种纳米硅粉制备的加热装置，其特征在于：所述驱动电机(704)与驱动调节器(702)电性连接。