[实用新型]长条形坩埚烧结炉有效
申请号: | 201721304794.6 | 申请日: | 2017-10-11 |
公开(公告)号: | CN207407678U | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 张礼铭;武东伟;殷硕;贡益 | 申请(专利权)人: | 江阴东升新能源股份有限公司 |
主分类号: | F27B14/06 | 分类号: | F27B14/06;F27B14/14;F27B14/08;F27D1/10;F27D9/00 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 赵海波 |
地址: | 214426 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却风管 炉体 长条形 烧结炉 硅芯 坩埚 防护罩 本实用新型 左右两侧 接电 炉门 鼓风机 连接炉体 连接设置 前后移动 上下升降 退火工艺 含氧量 电阻率 氧施主 高氧 台车 | ||
本实用新型涉及一种长条形坩埚烧结炉,它包括炉体(1),所述炉体(1)前侧设置有可上下升降的炉门(2),所述炉门(2)前侧设置有可前后移动的台车(3),所述炉体(1)后侧设置有接电防护罩(6),所述炉体(1)左右两侧设置有第一冷却风管(5),所述接电防护罩(6)后侧设置有第二冷却风管(7),所述第二冷却风管(7)两端分别连接炉体(1)左右两侧的第一冷却风管(5),所述第二冷却风管(7)中部连接设置有鼓风机(8)。本实用新型一种长条形坩埚烧结炉,它能够含氧量偏高的硅芯进行退火工艺处理,降低了硅芯中高氧含量的施主作用,从而解决了因氧施主作用引起硅芯电阻率偏低的问题。
技术领域
本实用新型涉及一种长条形坩埚烧结炉,属于多晶硅生产技术领域。
背景技术
传统的燃料能源正在一天天减少,对环境造成的危害日益突出,能源问题日益成为制约国际社会经济发展的瓶颈,这个时候,全世界都把目光投向了可再生能源,希望可再生能源能够改变人类的能源结构,维持长远的可持续发展。作为可再生能源的太阳能以其独有的优势而成为人们重视的焦点。丰富的太阳能是取之不尽、用之不竭的、无污染、人类能够自由利用的能源。且太阳能光伏发电具有安全可靠、无噪音、无污染、制约少、资源广阔等其他常规能源所不具备的优点,被公认为是21世纪重要的新能源。
多晶硅因其原料来源广、纯度要求低,以及生产效率高,规模生产大,已成为太阳能行业中的主导光伏材料。目前市面上的多晶硅大多采用改良西门子法生产的棒状多晶硅为主,以流化床技术生产的粒状多晶硅为辅。国内多晶硅生产采用的主流技术几乎都是改良西门子法,这种方法的优点是节能降耗显著、成本低、质量高,目前已占据了国内市场的80%以上。
在改良西门子法生产多晶硅过程中,硅芯是西门子法和硅烷法多晶硅生产中作为还原炉中进行还原反应沉积(CVD)多晶硅的热载体,在还原反应结束后,硅沉积在硅芯周围,硅芯连同硅通过破碎一起作为多晶硅原料使用,因此,硅芯是作为多晶硅生产过程中非常重要的辅材使用和消耗的。作为还原反应沉积(CVD)多晶硅的热载体,硅芯的发展先后经历了钼丝或钽管、圆硅芯和线切方硅芯等几个阶段,现阶段方硅芯以其截面积大强度高,承载能力大,产能高、能耗小、成本低等优势已渐渐取代圆硅芯,在还原法生产多晶硅中得到广泛应用。
现切割得到的部分硅芯会有氧含量过高问题,氧在硅中在硅锭(棒)生长中进入且在冷却过程中部分形成施主成分,使得该部分硅芯电阻率偏低,影响产品的品质及合格率。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种长条形坩埚烧结炉,它能够含氧量偏高的硅芯进行退火工艺处理,降低了硅芯中高氧含量的施主作用,从而解决了因氧施主作用引起硅芯电阻率偏低的问题。
本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为:一种长条形坩埚烧结炉,它包括炉体,所述炉体前侧设置有可上下升降的炉门,所述炉门前侧设置有可前后移动的台车,所述炉体后侧设置有接电防护罩,所述炉体左右两侧设置有第一冷却风管,所述接电防护罩后侧设置有第二冷却风管,所述第二冷却风管两端分别连接炉体左右两侧的第一冷却风管,所述第二冷却风管中部连接设置有鼓风机。
所述台车下方左右平行设置有两条导轨。
所述台车外壳采用钢板焊接而成。
所述台车砌体包括内外两层,内层采用硅藻土保温砖和陶瓷纤维针刺毯,外层采用莫莱石砌筑。
所述炉体内衬采用莫莱石砌筑。
所述炉体内侧和炉门内侧均设置有加热元件,所述加热元件包括刚玉陶瓷管,所述刚玉陶瓷管上缠绕有高电阻合金丝。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:
本实用新型一种长条形坩埚烧结炉,它能够含氧量偏高的硅芯进行退火工艺处理,降低了硅芯中高氧含量的施主作用,从而解决了因氧施主作用引起硅芯电阻率偏低的问题。
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