[实用新型]一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统

说明书

本实用新型涉及一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统，包括真空室和均设置在真空室内的第一隔板、第一电极器、多个第一磁控靶、基材、用于控制基材运行的路径控制机构；路径控制机构包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、第一检测辊、第一导辊、第一水冷鼓、第二导辊、第二检测辊、收卷辊；多个第一磁控靶以第一水冷鼓的轴线为中心线沿着圆周方向布置，带磁性的第一电极器设置在相邻的两个第一磁控靶之间，第一水冷鼓的两侧均设置一块第一隔板。卷绕镀膜系统能有效改善金属薄层的沉积质量，大幅度提升金属薄层和基材的结合力，属于基材镀膜的技术领域。

技术领域

本实用新型涉及基材镀膜的技术领域，尤其涉及一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统。

背景技术

目前，磁控溅射柔性超薄覆铜板卷绕镀膜设备的离子处理都是采用线性离子源进行镀膜前处理，即在基材进行镀膜前采用线性离子源进行镀膜前处理，但是这样容易引起基材表面温度升高，引起基材表面起皱，且在镀膜过程中因基材放气，会导致膜层沉积质量变差，膜层结合力无法提高。

实用新型内容

针对现有技术中存在的技术问题，本实用新型的目的是：提供一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统，有效改善金属薄层的沉积质量，大幅度提升金属薄层和基材的结合力。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统，包括真空室和均设置在真空室内的第一隔板、第一电极器、多个第一磁控靶、基材、用于控制基材运行的路径控制机构；路径控制机构包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、第一检测辊、第一导辊、第一水冷鼓、第二导辊、第二检测辊、收卷辊；多个第一磁控靶以第一水冷鼓的轴线为中心线沿着圆周方向布置，带磁性的第一电极器设置在相邻的两个第一磁控靶之间，第一水冷鼓的两侧均设置一块第一隔板；放卷辊、第一检测辊、第一导辊、第二导辊、第二检测辊、收卷辊均位于第一隔板的上方，第一电极器、第一磁控靶均位于第一隔板的下方。

进一步的是：第一磁控靶的数量有两个，两个第一磁控靶对称设置在真空室内；第一电极器的数量为一个，第一电极器位于第一水冷鼓的正下方。

进一步的是：第一电极器内设有磁铁，磁铁倾斜式地布置。

进一步的是：第一磁控靶为平面磁控靶或圆柱磁控靶。

进一步的是：放卷辊和收卷辊对称设置在真空室内，第一导辊和第二导辊对称设置在真空室内，第一检测辊和第二检测辊对称设置在真空室内。

进一步的是：所述的基材为聚酰亚胺薄膜或金属卷材。

进一步的是：真空室呈圆形或方形。

一种带磁性电极器的柔性覆铜板卷绕镀膜系统，包括真空室和均设置在真空室内的隔板机构、第一电极器、第二电极器、多个第一磁控靶、多个第二磁控靶、基材、用于控制基材运行的路径控制机构；路径控制机构包括沿着基材运行路径依次设置的放卷辊、第一检测辊、第一导辊、第一水冷鼓、第二导辊、第三导辊、第二水冷鼓、第四导辊、第二检测辊、收卷辊；

至少两个以上的第一磁控靶以第一水冷鼓的轴线为中心线沿着圆周方向布置，至少两个以上的第二磁控靶以第二水冷鼓的轴线为中心线沿着圆周方向布置，带磁性的第一电极器设置在相邻的两个第一磁控靶之间，带磁性的第二电极器设置在相邻的两个第二磁控靶之间；