[实用新型]一种双端进出的玻璃镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201721312022.7 申请日: 2017-10-11
公开(公告)号: CN207376112U 公开(公告)日: 2018-05-18
发明(设计)人: 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 申请(专利权)人: 广东腾胜真空技术工程有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/35;C03C17/00
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 官国鹏
地址: 526060 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 进出 玻璃 镀膜 设备
【权利要求书】:

1.一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:包括依次连接且均设有滚筒传送机构的前进出片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、后进出片室;前进出片室的出入口处设有真空锁,前进出片室和前过渡室之间设有真空锁,前过渡室和前缓冲室之间设有真空锁,后缓冲室和后过渡室之间设有真空锁,后过渡室和后进出片室之间设有真空锁,后进出片室的出入口处设有真空锁;连通的前缓冲室、镀膜室、后缓冲室形成相通的真空室;镀膜室内设有多个定向旋转靶,定向旋转靶位于玻璃的上方,定向旋转靶内设有用于形成夹角磁场的磁铁。

2.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:多个定向旋转靶沿着玻璃的传输路径依次设置在镀膜室上,每个定向旋转靶上均设有玻璃传感器。

3.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:每个定向旋转靶上设有一块竖直磁铁和两块倾斜磁铁,竖直磁铁放置在定向旋转靶下部的中心位置上,两块倾斜磁铁对称布置在竖直磁铁的两侧。

4.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:镀膜室上设有两个光电传感器,多个定向旋转靶位于两个光电传感器之间。

5.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:前进出片室的出入端设有前进出料架,后进出片室的出入端设有后进出料架。

6.按照权利要求5所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:前进出料架和后进出料架处均设有输送机构,输送机构的输送通道与滚筒传送机构的传送通道处于同一高度上。

7.按照权利要求6所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:镀膜设备还包括室下传送机构,室下传送机构的一端位于前进出料架处,室下传送机构的另一端位于后进出料架处;前进出料架和后进出料架处均设有升降机构,升降机构降至最低处时,升降机构与室下传送机构相接,升降机构升至最高处时,升降机构与输送机构相接。

8.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:前进出片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、后进出片室均设有抽真空机组;前进出片室和后进出片室上设有离子清洗装置。

9.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:前过渡室和后过渡室上均设有加热装置。

10.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:相邻两个滚筒传送机构之间的间距小于玻璃的长度。

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