[实用新型]一种双端进出的玻璃镀膜设备有效
申请号: | 201721312022.7 | 申请日: | 2017-10-11 |
公开(公告)号: | CN207376112U | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 广东腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35;C03C17/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 官国鹏 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 进出 玻璃 镀膜 设备 | ||
1.一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:包括依次连接且均设有滚筒传送机构的前进出片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、后进出片室;前进出片室的出入口处设有真空锁,前进出片室和前过渡室之间设有真空锁,前过渡室和前缓冲室之间设有真空锁,后缓冲室和后过渡室之间设有真空锁,后过渡室和后进出片室之间设有真空锁,后进出片室的出入口处设有真空锁;连通的前缓冲室、镀膜室、后缓冲室形成相通的真空室;镀膜室内设有多个定向旋转靶,定向旋转靶位于玻璃的上方,定向旋转靶内设有用于形成夹角磁场的磁铁。
2.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:多个定向旋转靶沿着玻璃的传输路径依次设置在镀膜室上,每个定向旋转靶上均设有玻璃传感器。
3.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:每个定向旋转靶上设有一块竖直磁铁和两块倾斜磁铁,竖直磁铁放置在定向旋转靶下部的中心位置上,两块倾斜磁铁对称布置在竖直磁铁的两侧。
4.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:镀膜室上设有两个光电传感器,多个定向旋转靶位于两个光电传感器之间。
5.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:前进出片室的出入端设有前进出料架,后进出片室的出入端设有后进出料架。
6.按照权利要求5所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:前进出料架和后进出料架处均设有输送机构,输送机构的输送通道与滚筒传送机构的传送通道处于同一高度上。
7.按照权利要求6所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:镀膜设备还包括室下传送机构,室下传送机构的一端位于前进出料架处,室下传送机构的另一端位于后进出料架处;前进出料架和后进出料架处均设有升降机构,升降机构降至最低处时,升降机构与室下传送机构相接,升降机构升至最高处时,升降机构与输送机构相接。
8.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:前进出片室、前过渡室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后过渡室、后进出片室均设有抽真空机组;前进出片室和后进出片室上设有离子清洗装置。
9.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:前过渡室和后过渡室上均设有加热装置。
10.按照权利要求1所述的一种双端进出的玻璃镀膜设备,其特征在于:相邻两个滚筒传送机构之间的间距小于玻璃的长度。
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