[实用新型]一种气浮式平行度测量装置有效
申请号: | 201721312935.9 | 申请日: | 2017-10-12 |
公开(公告)号: | CN207570467U | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 李志刚;宋久高 | 申请(专利权)人: | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B5/252 | 分类号: | G01B5/252 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立;李蕾 |
地址: | 430223 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气浮 测量 支撑 进气口 平行度测量装置 磁性表座 气流通道 浮式 连通气流通道 本实用新型 气源发生器 测量空间 可拆卸的 排气孔排 外接气源 压缩空气 移动方便 发生器 高度尺 排气孔 平面的 平面度 平行度 千分表 滑轨 均布 吸附 下端 连通 损伤 悬浮 狭窄 测试 检测 污染 | ||
1.一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:包括气浮支撑部(1)和测量部(2);
所述气浮支撑部(1)内具有气流通道,其下端均布有多个分别与所述气流通道连通的排气孔(11),所述气浮支撑部(1)上具有连通所述气流通道的进气口(12),所述进气口(12)外接气源发生器;
所述气源发生器用以向所述气浮支撑部(1)内部提供压缩空气,并通过多个所述排气孔(11)排出,以使所述气浮支撑部(1)水平悬浮于基准面上;
所述测量部(2)可拆卸的安装在所述气浮支撑部(1)上,用以检测待测平面的平行度。
2.根据权利要求1所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:所述气浮支撑部(1)为气浮板,其上端面和下端面为相互平行并水平设置的平面。
3.根据权利要求2所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:所述测量部(2)可拆卸的安装在所述气浮支撑部(1)的上端。
4.根据权利要求3所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:所述测量部(2)为竖直设置的高度尺,所述高度尺下端的座体可拆卸的安装在所述气浮支撑部(1)的上端。
5.根据权利要求3所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:所述测量部(2)包括磁力表架(21)和千分表(22),所述磁力表架(21)下端的表架座可拆卸的安装在所述气浮支撑部(1)的上端,所述千分表(22)可拆卸的安装在所述磁力表架(21)的上端。
6.根据权利要求4所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:所述气浮支撑部(1)的上端设有安装座(13),所述高度尺下端的座体可拆卸的安装在所述安装座(13)上。
7.根据权利要求5所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:所述气浮支撑部(1)的上端设有安装座(13),所述磁力表架(21)下端的表架座可拆卸的安装在所述安装座(13)。
8.根据权利要求2至7任一项所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:所述气浮支撑部(1)上均匀设有至少三个上下贯穿其的安装孔位,每个所述安装孔位处均安装有伸缩装置(4),所述伸缩装置(4)的伸缩端均竖直向下设置并安装有与所述安装孔位匹配的橡胶支撑盘(41),所述伸缩装置(4)可通过伸缩端带动所述橡胶支撑盘(41)上下移动至收缩进所述安装孔位内或伸至所述安装孔位的下方。
9.根据权利要求8所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:所述伸缩装置(4)为微型电动伸缩杆。
10.根据权利要求9所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:还包括盖板(3),所述盖板(3)可拆卸的安装在所述气浮支撑部(1)下端,并可遮盖住全部的所述排气孔(11),且所述盖板(3)的下端面设置为水平面,所述盖板(3)上设有多个上下贯穿其并与所述安装孔位一一对应的通孔,所述橡胶支撑盘(41)可由对应的通孔穿过。
11.根据权利要求10所述的一种气浮式平行度测量装置,其特征在于:所述气浮支撑部(1)上端安装有水平仪。
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