[实用新型]空间反射镜真空镀膜夹具

说明书

本专利公开了一种空间反射镜真空镀膜夹具，该夹具包括承载主体、承载方形梁、垂直吊杆、反射镜支撑装置。承载主体上端与电机装置连接，四个承载方形梁均匀分布于承载主体圆柱上，垂直吊杆配合孔与承载方形梁连接，反射镜支撑装置用螺钉连接到垂直吊杆上。反射镜由反射镜支撑装置的安装接口安装至夹具上。夹具与真空罐内电机装置相连接，由电机装置带动夹具转动进行镀膜工作。本专利的优点在于：结构稳定简单、强度高、易装配、总重量轻负载小、以及良好的互换性；夹具采用实体钢梁和钢杆结构可避免多余可挥发物的污染风险；本专利的反射镜支撑装置采用独立可拆卸方式实现反射镜的翻转，从而出色完成反射镜镜面和背面的镀膜任务。

技术领域：

本专利属于空间遥感应用技术领域，具体涉及一种空间反射镜真空镀膜夹具。

背景技术

随着空间光学遥感技术的发展和应用越来越广，空间光学遥感器功能越来越多，光学分辨率也越高，视场要求也更广，成像的光学反射镜的尺寸也随之越来越大。空间反射镜作为遥感光学系统的重要组成部分，其面型精度将直接影响系统成像质量。空间反射镜加工难易程度受其材质和结构、几何尺寸、精度等因素的影响，且大尺寸反射镜的轻量化程度较高，在光学加工或镀膜时容易受到安装平台的影响产生形变从而影响面型精度。在一些特定条件下，空间反射镜有镜面和背部镀膜的需求，且两面镀膜材质不同，因此要求安装平台或夹具能满足此类镀膜的装夹。

空间反射镜真空镀膜夹具或安装反射镜的平台，一般只能满足镜面镀膜的装夹，因此若对反射镜背部镀膜，由于反射镜镀膜的安装平台或夹具的局限性，不能满足背部镀膜要求。通用的安装反射镜的夹具一般只适用于口径小易安装的反射镜，大口径的反射镜安装难度大，不仅需要大直径的真空镀膜罐，而且受到结构稳定性、质量、安装便捷性等因素的制约。

发明内容

本专利为解决空间反射镜在真空罐内进行真空镀膜的装配问题。空间反射镜夹具的安装接口精度会影响反射镜的面型精度，因此对夹具接口精度要求较高；反射镜装配到夹具后，真空镀膜罐内电机电动夹具转动，电机悬挂装置对所悬挂的载荷重量是固定的，因此夹具和反射镜的总重量需要严格限制；安装夹具或安装反射镜时装配难度受到真空罐内空间局限性影响；蒸发或溅射方式进行镀制反射膜时，蒸发源或溅射源不动，由夹具带动反射镜匀速低速转动，反射镜镜面和背面都有镀膜要求的情况下，就需要对反射镜支撑装置或者反射镜翻转以便于对镜面和背部进行镀膜。

本专利解决上述问题的技术方案是：

一种空间反射镜真空镀膜夹具，其承载主体1包括中空圆柱主体和真空罐连接接口101部分。承载主体1为T字形圆柱体，由上下两端圆柱体组成，内部中空从而形成上下两个薄壁圆柱，最小壁厚处为单边10mm，上圆柱长度20mm，为真空罐连接接口101部分，连接接口的安装面内凹，其与真空罐接口尺寸匹配，下圆柱部分圆周上均匀开四个长边竖直，长宽比例为10:3的方形孔，用于焊接承载方形梁2。

一种空间反射镜真空镀膜夹具，其承载方形梁2包括垂直吊杆安装接口201部分和方形梁部分。承载方形梁2用四根均匀布置的长方形钢梁，按10:3的长宽比设计，采用窄边水平长边竖直安装的方式作为承力件，四根梁的窄边平面共面。与真空罐连接接口101安装平面平行。承载主体方形钢梁2的末端为垂直吊杆安装接口201，用于安装垂直吊杆。

一种空间反射镜真空镀膜夹具，其垂直吊杆3包括垂直吊杆安装接口201配合的接口、反射镜支撑装置安装接口301。垂直吊杆3的杆件采用实体圆柱杆，有不同长度组件，且用于同一组的四根杆件等长，可根据实际长度需求更换不同组件实现调整；与承载方形梁2配合的接口采用方孔形式，孔两侧竖直面由螺钉调节的压板，通过螺钉压紧压板将垂直吊杆3固定在承载方形梁2的安装位置上；反射镜支撑装置安装接口301采用在实体圆杆的末端打螺钉孔，由螺钉连接固定反射镜支撑装置4。