[实用新型]一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置。

背景技术

真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用，在镀膜的过程中加工腔室为真空腔室，当加工腔室中真空度较低的情况下会影响镀膜的水平，所以如何保证加工腔室的真空度是镀膜技术的一大要点。

中国发明专利公开号为CN105543790A提出的一种真空镀膜机系统及其操作方法其核心技术为一种真空镀膜机系统及其操作方法，包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体，所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接，控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接，且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制，其操作方法包括5个步骤，(1)开机预热；(2)自动抽气；(3)自动镀膜；(4)自动放气；(5)自动关机；方便增加可编辑工艺，可进行全自动运行，进行各项流程的单独或多项，可调换操作智能操作，智能保护与维护检测，提高产品质量，节约人工成本，增加工作效率，提供系统报警异常，可及时修复与维护可多种工艺编辑储存及修改，可单独操做或自动操作。

其中一种真空镀膜机系统及其操作方法，可以自动对加工腔室进行自动的抽气，但是在加工的过程中无法实时的检测加工腔室的真空度，也实时的调节加工腔室的真空度。本实用新型利用扩散泵将加工腔室抽成真空加工环境，并用气塞的自重力来密封加工腔室，在加工过程中实时的检测加工腔室的并自动抽气保证加工腔室的真空度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置，包括：

加工腔室、连接管、抽气腔室、进出气管、气塞、支架和控制模块，所述加工腔室和抽气腔室各有两个进出气口，所述连接管的一端密封式安装在加工腔室其一进出气口上、另一端密封式安装在抽气腔室其一进出气口上，所述进出气管安装在抽气腔室进出气口上，所述气塞安装在进出气管内部，所述支架固定在抽气腔室内部。

优选的，所述控制模块由依次电性连接的气压传感器、信号处理单元、控制电路和扩散泵组成，所述气压传感器密封式安装在加工腔室其二进出气口上，所述扩散泵密封式安装在抽气腔室其二进出气口上。

优选的，所述气塞为不锈钢圆台且表面设有密封橡胶，进出气管为钢管且内部设有密封橡胶。

优选的，所述支架上设有通气孔。

优选的，所述信号处理单元为AT89S51单片机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型利用扩散泵将加工腔室抽成真空加工环境，并用气塞的自重力来密封加工腔室，简化了工作过程，在加工过程中实时的检测加工腔室的并自动抽气保证加工腔室的真空度，有效的增加镀膜水平，增加了镀膜设备的镀膜精度。

附图说明

图1为本实用新型示意图；

图2为本实用新型支架立体图；

图3为本实用新型进出气管和气塞立体图；

图4为本实用新型控制模块结构图；

图5为本实用新型控制电路的电路图。

图中：1加工腔室、2连接管、3抽气腔室、4进出气管、5气塞、6支架、7控制模块、71气压传感器、72信号处理单元、73控制电路和74扩散泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：