[实用新型]一种全自动特殊液体供应柜

说明书

一种全自动特殊液体供应柜，它涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种全自动特殊液体供应柜。它包含柜体、控制显示单元、工作单元、吹扫单元、报警单元；柜体为密闭装置，控制显示操作单元设置在柜体表面的上部，工作单元、吹扫单元、报警单元设置在柜体的内部且工作单元、吹扫单元、报警单元为一个整体。采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它能通过设备安装的气动阀、过流量开关来防止操作过程中开错阀门及设备故障时的安全联动，达到全自动工作的效果，提高了液体传输效率，减小了液体泄漏的危险性，确保工厂正常生产和员工人身安全，实现设备状况现场显示和操作员最大可能非直接接触有毒、有害介质的全自动特殊液体供应柜。

技术领域

本实用新型涉及特殊气体输送技术领域，具体涉及一种全自动特殊液体供应柜。

背景技术

在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏(如受腐蚀或人为操作失误等因素)造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必特别重视且不可小看的。其中特殊气体分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。而造成意外事故的主要原因为人为失误。国内半导体厂都采用各种管理及危害分析方法来达到风险的适当控制，但在人员手动控制的状态下，仍然无法降低风险性。

特殊液体供应柜主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺液体。因工艺液体一般为灌体包装，在工厂运转过程中须不断更换新的液体灌，拆除在线的用空的液体灌，我们称之为罐体更换流程。在罐体更换过程中为保证有毒有害液体不外漏威胁到人身安全，拆除用空的罐体前，须用高纯氮气吹净与钢瓶相连的管线内的有毒有害体液，这在罐体更换流程称之为换罐前吹。为确保有毒有害液体能置换干净，须重复开关排放阀和吹扫阀60次以上。当空罐体拆除换装上新的罐体后须对新装好的罐体接口做泄漏测试。对泄漏测试通过的罐体我们要做换罐后吹扫，以清除换罐过程中有可能带入气体管线的空气、水分和微小的颗粒。这个过程须连续持续3至4小时。这在目前和以前的一些老的手动、半自动特殊液体供应柜的操作中都须人工来完成。因此带来诸多不合理因素：1、操作员机械连续重复同一个动作，误操作几率高。2、操作员在整个操作过程中因需要手动开关阀门，直接面对输送有毒有害液体设备时间长，人员安全风险大。3、手动、半自动特殊液体输送柜在有液体泄漏、火灾报警等紧急情况是无法自动关闭阀门，切断源头来减少危害。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种全自动特殊液体供应柜，它能通过设备安装的气动阀、过流量开关来防止操作过程中开错阀门及设备故障时的安全联动，达到全自动工作的效果，提高了液体传输效率，减小了液体泄漏的危险性，确保工厂正常生产和员工人身安全，实现设备状况现场显示和操作员最大可能非直接接触有毒、有害介质的全自动特殊液体供应柜。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案是：一种全自动特殊液体供应柜，它包含柜体1、控制显示单元2、工作单元3、吹扫单元4、报警单元5；柜体1为密闭装置，控制显示操作单元2设置在柜体1表面的上部，工作单元3、吹扫单元4、报警单元5设置在柜体1的内部且工作单元3、吹扫单元4、报警单元5为一个整体。

所述的柜体1表面的底部设置有柜门气栅门11，柜门气栅门11为栅格式换气口。柜门气栅门11可用于柜体1的内外部空气流通，降低工作温度。

所述的控制显示操作单元2包含微处理器21、显示屏和操作单元为触摸屏22；显示屏和操作单元在柜体1的上部且同侧，操作单元连接微处理器21。微处理器21用于控制触摸屏。