[实用新型]一种多线切割机用导轮

说明书

技术领域

本实用新型涉及多线切割机设备技术领域，具体涉及一种多线切割机用导轮。

背景技术

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。

在半导体切割装置技术领域中，多线切割机技术作为一种比较先进的硅片加工技术，被当前绝大多数硅片生产厂家所采用。作为多线切割机的核心部件，导轮结构对切割硅片的精度和质量起着至关重要的作用，其包括导轮本体，位于导轮本体外周的导轮涂层，位于导轮涂层上并沿导轮本体圆周布置的导轮槽和卡在导轮槽的钢线。在多线切割机工作时，缠绕在导轮上的数百条钢线沿导轮本体圆周方向高速旋转，从而将磨料切割成具有一定厚度的薄片。导轮中的导轮槽用于承载钢线，并约束钢线的切割方向，其主要参数有槽距、槽深、开槽角度、槽距修正值、外径、跳动值等。

现有市面上并没有一种自带固定钢线的导轮，且多线切割时容易发生跳动、错乱的情况，因此影响切割质量设置导致钢线断裂、被加工品报废，并且现有导轮都为固定式安装，并没有一种可以根据需求快速调整距离的导轮。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种安全可靠、加工精度高且可快速调整距离的多线切割机用导轮，包括放线轮与收线轮，所述放线轮与收线轮一侧分别设置第一限位滑块，第一限位滑块设置在第一限位滑槽内，在放线轮与收线轮另一侧分别设置第一活塞推杆，第一活塞推杆与第一定位气缸连接，所述放线轮与收线轮上设置钢线，钢线连接导轮组形成线网，在导轮组一侧设置第二限位滑块，第二限位滑块设置在第二限位滑槽内，所述导轮组另一侧设置第二活塞推杆，第二活塞推杆与第二定位气缸连接，在导轮组上方左右两侧分别设置砂浆喷嘴，所述两砂浆喷嘴中间设置被加工棒材，被加工棒材设置在线网上，所述放线轮、收线轮与导轮组外表面设置导轮涂层，在放线轮、收线轮与导轮组上设置导轮槽，导轮槽内设置钢线，在导轮槽左右两侧分别设置卡槽，在卡槽内设置卡爪，卡爪连接弹簧装置，在弹簧装置下设置限位块，所述限位块固定在卡爪顶部内侧。

作为优选，所述导轮槽的截面为等腰三角形，所述导轮槽的开槽角度范围为40度到60度。

作为优选，所述导轮组由四个导轮本体组成，形成一个矩形。

作为优选，所述放线轮、收线轮与导轮组上的导轮槽设置为若干个，且至多为24个。

作为优选，所述卡爪、弹簧装置与限位块为一体式，且限位块呈半圆形。

本实用新型的有益效果是：结构简单，操作方便，定位气缸配合限位滑块、限位滑槽的设置将能够快速调节放线轮、收线轮与导轮组之间的距离，提高工作效率，便于拆卸与维修，同时卡爪、弹簧装置与限位块的设置将在钢线沿导轮本体圆周方向高速旋转时，起到防跳动、错乱的作用，保护钢线和被加工棒材，提高加工精度与安全性。

附图说明

本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明，其中：

图1是本实用新型的主视图；

图2是本实用新型中放线轮、收线轮与导轮组的本体结构示意图。

图中：1、放线轮；101、收线轮；102、线网；2、第一限位滑块；3、第一限位滑槽；4、第一活塞推杆；5、第一定位气缸；6、钢线；7、导轮组；8、第二限位滑块；9、第二限位滑槽；10、第二活塞推杆；11、第二定位气缸；12、砂浆喷嘴；13、被加工棒材；15、导轮涂层；16、导轮槽；18、卡槽；19、卡爪；20、弹簧装置；21、限位块。

具体实施方式

本说明书中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。