[实用新型]一种运输晶圆的锁止结构及提篮

权利要求书

1.一种提篮锁止结构，其特征在于，包括与提篮侧板的端面对应设置的活动挡片，活动挡片能沿提篮侧板端面滑动，在活动挡片上设有多个与提篮侧板上设置的晶圆存取槽对应开设的变位槽，还设有锁止开关，所述锁止开关上设有限制活动挡片位置的限位结构。

2.根据权利要求1所述的提篮锁止结构，其特征在于，所述活动挡片为长条形板状结构，且活动挡片的长度与提篮侧板端面的长度相适应，当锁止开关锁定活动挡片的位置时，变位槽与晶圆存取槽相匹配连通。

3.根据权利要求1或2所述的提篮锁止结构，其特征在于，在活动挡片上还设有侧挡条，所述侧挡条与活动挡片本体大致垂直，所述变位槽设置在侧挡条上。

4.根据权利要求1所述的提篮锁止结构，其特征在于，所述锁止开关包括设置在活动挡片短边侧的限位压板、以及在提篮侧板上对应设置的弹性支撑件，所述限位压板与活动挡片本体大致垂直，还包括在提篮侧板与活动挡片上对应设置的锁止片组件。

5.根据权利要求4所述的提篮锁止结构，其特征在于，所述锁止片组件包括在提篮侧板和活动挡片上对应设置的卡槽，分别为锁止片活动槽和锁止卡槽，在锁止片活动槽内设有锁止片。

6.根据权利要求5所述的提篮锁止结构，其特征在于，所述锁止片活动槽从提篮侧板的内壁面延伸至提篮侧板端面，在提篮侧板上设与锁止片活动槽连通的转动孔，配合转动件连接锁止片，使锁止片能在锁止片活动槽内转动。

7.根据权利要求6所述的提篮锁止结构，其特征在于，所述转动件为转动销，在锁止片上设有与转动销配合的销孔。

8.根据权利要求4所述的提篮锁止结构，其特征在于，所述弹性支撑件为弹簧，所述弹簧与转动销同向设置。

9.一种运输晶圆的提篮，其特征在于，包括左侧板和右侧板，还包括将左侧板和右侧板连接起来的横梁和连接柱，在两个侧板的内壁对应设有多条晶圆存取槽，在其中一个侧板的端部还配设有如权利要求1-8之一所述的锁止结构。