[实用新型]一种半导体光源泵浦多谐振腔固体激光器装置

权利要求书

1.一种半导体光源泵浦多谐振腔固体激光器装置，包括圆管形谐振腔组（1）、冷却空心金属圆管和半导体泵浦光源（5），其特征在于：所述圆管形谐振腔组（1）有N个圆管形谐振腔，N为正整数，N大于2，所述圆管形谐振腔组（1）中的圆管形谐振腔平均半径从外到内成等差数列分布且长度相等并采用同轴布置，所述圆管形谐振腔组（1）中的圆管形谐振腔的两个端面分别在互相平行的两个平面上，所述圆管形谐振腔组（1）中相邻两个圆管形谐振腔之间布置有厚度固定的与圆管形谐振腔同轴的中间层冷却空心金属圆管（2），所述中间层冷却空心金属圆管（2）的数量为N-1，所述冷却空心金属圆管包括至少1个中间层冷却空心金属圆管（2）、最里层冷却空心金属圆管（3）和最外层冷却空心金属圆管（4），各冷却空心金属圆管组成冷却空心金属圆管组，所述冷却空心金属圆管内壁与外壁之间为空心结构，所述冷却空心金属圆管内通有循环冷却液，所述冷却空心金属圆管组中的每一个中间层冷却空心金属圆管（2）内壁与外壁的表面贴有金属基材为底板的线路板，线路板上密集布置贴片封装的半导体泵浦光源（5），所述半导体泵浦光源（5）的光线射出主要方向布置为径向，所述圆管形谐振腔组（1）中最里层圆管形谐振腔的内侧布置有最里层冷却空心金属圆管（3），最里层冷却空心金属圆管（3）的外壁表面贴有金属基材为底板的线路板，线路板上密集布置贴片封装的半导体泵浦光源（5），最里层冷却空心金属圆管（3）的内壁表面则没有布置半导体泵浦光源（5），所述圆管形谐振腔组（1）中最外层圆管形谐振腔的外侧布置有最外层冷却空心金属圆管（4），最外层冷却空心金属圆管（4）的内壁表面贴有金属基材为底板的线路板，线路板上密集布置贴片封装的半导体泵浦光源（5），最外层冷却空心金属圆管（4）的外壁表面则没有布置半导体泵浦光源（5）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体光源泵浦多谐振腔固体激光器装置，其特征在于：所述固体激光器中冷却空心金属圆管的长度选择等于圆管形谐振腔长度，冷却空心金属圆管的两个端面选择与至少1个圆管形谐振腔的相同端面共面。

3.根据权利要求1所述的一种半导体光源泵浦多谐振腔固体激光器装置，其特征在于：所述固体激光器每两个相邻的冷却用空心金属圆管与圆管形谐振腔之间嵌有同轴支撑环，在圆管形谐振腔两端必须布置有同轴支撑环，每一个端面上有2N个同轴支撑环，称一个同轴支撑环组（8），两个端面有两个同轴支撑环组（8），同轴支撑环朝外的端面布置为与圆管形谐振腔两端分别共面。

4.根据权利要求3所述的一种半导体光源泵浦多谐振腔固体激光器装置，其特征在于：所述固体激光器可根据圆管形谐振腔、冷却用空心金属圆管的长度和强度，在中间适当位置可以增加布置一组以上同轴支撑环组（8），同组的同轴支撑环两端面分别共面。

5.根据权利要求3或4所述的一种半导体光源泵浦多谐振腔固体激光器装置，其特征在于：所述固体激光器的同轴支撑环组中的每一个同轴支撑环轴向长度根据需要取5~10mm，同组的同轴支撑环要求长度一样，同组的同轴支撑环两端面分别共面。

6.根据权利要求1所述的一种半导体光源泵浦多谐振腔固体激光器装置，其特征在于：所述固体激光器的每一个同轴支撑环外径等于其外圈相邻的冷却用空心金属圆管或圆管形谐振腔的内径，每一个同轴支撑环内径等于其内圈相邻的冷却用空心金属圆管或圆管形谐振腔的外径。

7.根据权利要求1所述的一种半导体光源泵浦多谐振腔固体激光器装置，其特征在于：所述固体激光器谐振腔及其附件采用竖直布置，所述固体激光器谐振腔的下方有全反镜，所述全反镜的支撑结构支撑固体激光器谐振腔及其附件。

8.根据权利要求1所述的一种半导体光源泵浦多谐振腔固体激光器装置，其特征在于：所述圆管形谐振腔组中的圆管形谐振腔的厚度为0.05-0.5mm。