[实用新型]冷凝结构及减压干燥装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示设备领域，特别是涉及一种冷凝结构及减压干燥装置。

背景技术

在生产上，OLED可以采用喷墨打印工艺制作，其工艺流程步骤主要包括基板清洗、基板烘干、基板前处理、喷墨打印功能性材料墨水、减压干燥、烘烤、蒸镀及封装等。其中，减压干燥的原理是溶剂在低压的条件下，沸点降低，溶剂更容易挥发。OLED制作中采用此工艺的目的就是将功能性材料墨水等样品中的溶剂成分蒸发，保留功能性材料墨水中的固态成分，即保留功能性材料成分。

在生产过程中，当功能性材料墨水的成分不同时，所需要的减压干燥的温度也不同，有些样品需要在低于室温的条件下进行。对于样品需要在室温情况下进行减压干燥的情况，可以在减压干燥装置内对应样品台位置附近设置如图1中所示的冷凝板10，以达到降低功能性材料墨水等样品的温度的作用。

然而，由于冷凝板10为实心结构，在减压过程中，冷凝板具有使样品中的溶剂向冷凝板的外周方向流动的导流作用，进而使基板边缘位置上的样品中的溶剂相比基板中心区域上的样品中的溶剂蒸发快，从而使基板上成膜的膜质不均匀，继而影响产品的发光等性能。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够提高减压干燥过程中成膜均匀性的冷凝结构及减压干燥装置。

一种冷凝结构，用于对放置在减压干燥装置内的样品台上的样品进行冷却，所述冷凝结构包括：

冷凝板，所述冷凝板上至少位于所述冷凝板中部的区域设有通气孔，所述冷凝板的一侧表面为冷凝面，所述冷凝面用于朝向所述样品台设置；

冷凝管路，所述冷凝管路设置在所述冷凝板上。

在其中一个实施例中，所述通气孔有多个，多个所述通气孔阵列分布在所述冷凝板上。

在其中一个实施例中，所述冷凝板呈网格状镂空结构。

在其中一个实施例中，所述冷凝管路在所述冷凝板上呈弯折环状设置，且所述冷凝管路避让所述通气孔对应的区域。

在其中一个实施例中，所述冷凝管路设在所述冷凝板的另一侧表面上；或者

所述冷凝板上设有卡位槽，所述冷凝管路嵌在所述卡位槽内。

一种减压干燥装置，包括干燥箱和上述任一项实施例所述的冷凝结构；

所述干燥箱具有干燥腔，所述干燥箱能够与抽气装置连接以使所述干燥腔内能够形成负压，所述干燥腔内设有样品台；

所述冷凝板设于所述干燥腔内，并使所述冷凝板的所述冷凝面朝向所述样品台设置；

所述冷凝管路的进液端和出液端分别伸至所述干燥箱的外部。

在其中一个实施例中，所述样品台为可升降样品台。

在其中一个实施例中，所述样品台为加热烘烤台。

在其中一个实施例中，所述干燥箱上还设有与所述干燥箱相连通的充气口。

在其中一个实施例中，所述冷凝板的尺寸不小于所述样品台的尺寸。

上述冷凝结构包括冷凝板和冷凝管路，其中冷凝板上至少位于冷凝板中部的区域设有通气孔以使基板上样品中的溶剂能够整体向上方挥发，冷凝板的一侧表面为冷凝面，冷凝面用于朝向对减压干燥装置内的样品台设置；冷凝管路设在冷凝板上以促进样品台上的样品冷却。将上述冷凝结构设在减压干燥装置内，可使冷凝管路内循环流通冷却液，并将样品台上的样品靠近冷凝板放置，即可实现对样品的冷却；同时由于冷凝板上通气孔的设置，上述冷凝结构还能够使样品中的溶剂整体向上挥发，并尽量避免出现基板边缘位置上的溶剂相比基板中心区域上的溶剂挥发快的情况，有效提高功能性材料墨水等体系中溶剂挥发的均匀性，提高干燥成膜均匀性，进而提高发光器件的发光性能，提高产品的性能。

进一步地，上述冷凝结构的冷凝板采用网格状镂空结构，能够进一步提高溶剂挥发的均匀性，进一步提高干燥成膜的均匀性。

附图说明

图1为常规冷凝板的示意图；

图2为一实施方式的减压干燥装置的结构示意图；

图3为图2中减压干燥装置中的冷凝结构的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“设在”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。