[实用新型]MEMS麦克风吸嘴和MEMS麦克风拾取装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及MEMS麦克风制造领域，特别涉及一种MEMS麦克风吸嘴和MEMS麦克风拾取装置。

背景技术

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System；微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，简单的说就是一个电容器集成在微硅晶片上，可以采用表贴工艺进行制造，能够承受很高的回流焊温度，容易与CMOS工艺及其它音频电路相集成,并具有改进的噪声消除性能与良好的RF及EMI抑制能，采用这种技术的产品已经在多种应用中体现出了诸多优势，特别是中高端手机应用中。

在生产过程中通常采用吸嘴来拾取MEMS麦克风，但是由于MEMS麦克风上都设有音孔，因此吸嘴产生的负压会损坏MEMS麦克风。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种膜上取料摆盘机，旨在提高膜上取料的工作效率。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种MEMS麦克风吸嘴，所述MEMS麦克风吸嘴包括与外部负压装置连接的连接部，以及用于拾取MEMS麦克风的吸附部；其中，所述吸附部具有一与所述MEMS麦克风接触的吸附面，所述吸附面上开设有开设有避位缺口，以及与所述负压装置连通的气孔。

优选地，所述吸附部采用橡胶材料制得。

优选地，所述吸附面为矩形，所述气孔与避位缺口沿所述吸附面的长度方向分布；

所述气孔位于所述吸附面宽度方向的中部；所述避位缺口位于所述吸附面宽度方向的中部。

优选地，所述气孔位于吸附面长度方向的1/3处。

优选地，所述气孔的直径为所述吸附面宽度的1/4～1/2。

优选地，所述避位缺口呈条状设置，并由所述吸附面的中部向背离所述气孔的方向延伸。

优选地，所述避位缺口贯穿所述吸附面的侧边。

优选地，所述避位缺口靠近所述气孔的一端呈圆角设置。

优选地，所述避位缺口的长度为所述吸附面长度的1/3～1/2；所述避位缺口的宽度为所述吸附面宽度的1/5～1/3。

本实用新型进一步提出的一种MEMS麦克风拾取装置，包括MEMS麦克风吸嘴，所述MEMS麦克风吸嘴包括与外部负压装置连接的连接部，以及用于拾取MEMS麦克风的吸附部；其中，所述吸附部具有一与所述MEMS麦克风接触的吸附面，所述吸附面上开设有开设有避位缺口，以及与所述负压装置连通的气孔。

本实用新型的MEMS麦克风吸嘴在使用时连接部与外部负压装置连接，提供拾取的负压。吸附面与MEMS麦克风接触时控制气孔对准MEMS麦克风的表面接触，同时避位缺口对准MEMS麦克风上的音孔，在外部负压装置提供负压的作用下MEMS麦克风可以紧贴在吸附面上，同时由于避位缺口的设置使得MEMS麦克风的音孔处的气压没有任何变化，保证了MEMS麦克风内部结构不会因为气压的变化而被损坏。

附图说明

图1为本实用新型MEMS麦克风吸嘴一角度的结构示意图；

图2为本实用新型MEMS麦克风吸嘴另一角度的结构示意图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至2所示，本实用新型提出的MEMS麦克风吸嘴用于在生产过程中拾取MEMS麦克风。该MEMS麦克风吸嘴整体呈柱体设置，沿柱体的长度方向包括吸附部100和连接部200，该吸附部100与MEMS麦克风接触并吸附MEMS麦克风，该连接部200与如真空泵等的外部负压装置连接。该吸附部100具有一与MEMS麦克风接触的吸附面110，在该吸附面110上开设有避位缺口112和与外部负压装置连通的气孔111。

在使用时连接部200与外部负压装置连接，提供拾取的负压。吸附面110与MEMS麦克风接触时控制气孔111对准MEMS麦克风的表面接触，同时避位缺口112对准MEMS麦克风上的音孔，在外部负压装置提供负压的作用下MEMS麦克风可以紧贴在吸附面110上，同时由于避位缺口112的设置使得MEMS麦克风的音孔处的气压没有任何变化，保证了MEMS麦克风内部结构不会因为气压的变化而被损坏。