[实用新型]多管路回转真空与气压切换装置有效

专利信息
申请号: 201721342873.6 申请日: 2017-10-18
公开(公告)号: CN207346153U 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 段雄斌;黎文军;何选民 申请(专利权)人: 深圳市标谱半导体科技有限公司
主分类号: B65B15/04 分类号: B65B15/04;B65B35/18;B65B35/26
代理公司: 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 代理人: 胡清方;彭友华
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 管路 回转 真空 气压 切换 装置
【权利要求书】:

1.一种多管路回转真空与气压切换装置,其特征在于:

包括旋转轴(2)、与旋转轴(2)配合的且可相对旋转轴(2)旋转的旋转座(1),以及控制单元;

旋转座(1)内排列设置数个互相独立的第一气体通道(10),每个所述第一气体通道(10)的出口用于与吸嘴(9)连通;

旋转轴(2)的端座(20)设有若干互相独立的第二气体通道(22)和第三气体通道(23),所述第二气体通道(22)的入口用于接第一气源,所述第三气体通道(23)的入口用于接第二气源,若干个第二气体通道(22)的出口和第三气体通道(23)的出口共同形成的排布结构与数个第一气体通道(10)的入口的排布结构相同,第一气源是气压状态可变的气源,第二气源是气压状态固定的气源;

旋转旋转座(1),第一气体通道(10)在与第二气体通道(22)连通或与第三气体通道(23)连通的两种状态之间切换。

2.根据权利要求1所述的多管路回转真空与气压切换装置,其特征在于:所述旋转座(1)包括互相配合的座体(11)和气盘(12),所述座体(11)和气盘(12)的中央均设有供旋转轴(2)通过的通孔(100)。

3.根据权利要求2所述的多管路回转真空与气压切换装置,其特征在于:每个所述第一气体通道(10)由所述气盘(12)上的前通道(120)和座体(11)上的后通道(110)构成,每个所述前通道(120)和对应的后通道(110)连通。

4.根据权利要求1或2所述的多管路回转真空与气压切换装置,其特征在于:还包括旋转盘(3),所述旋转盘(3)上设有若干吸嘴(9),每个所述第一气体通道(10)的出口与对应的吸嘴(9)连通。

5.根据权利要求1或2所述的多管路回转真空与气压切换装置,其特征在于:还包括螺纹件(21),所述第二气体通道(22)的入口处通过螺纹件(21)与第一气源连通。

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