[实用新型]一种晶圆夹持装置

说明书

一种晶圆夹持装置，它包括晶圆承载板体、定位块、气动执行器、直线导轨、滑块、压力传感器、卡块、位置传感器。所述晶圆承载板体安装固定在机械手臂的末端手臂内，板体上面安装四个晶圆定位块，直接承载晶圆；所述气动执行器安装固定机械手臂的末端手臂内，气动执行器底端设有位置传感器，气动执行器前端上的滑杆连接在滑块上；所述滑块安装在直线导轨上；所述压力传感器安装固定在滑块上，并通过线缆连接到控制器；所述卡块安装固定在压力传感器上。本实用新型可在传输晶圆时时，控制器根据压力传感器的数据，实时调整气动执行器的气体压力，使卡块卡住晶圆，防止晶圆在高速传输时脱落。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆传输装置，尤其涉及一种晶圆末端执行器夹持装置。

背景技术

晶圆作为半导体产业的基础材料，是由单晶硅或多晶硅制作而成的一种较薄的圆片，由于材料特性，晶圆比较易碎，其中在传输晶圆时，因机械手臂运动速度较快而使晶圆脱落致损坏破碎的情况较多，不仅造成原料损失，也影响正常生产进度；

为此，本实用新型特设计一种晶圆夹持装置，通过在机械手臂的末端安装压力传感器，使控制器可以在传输晶圆时实时获取感知压力数据，以实时调节控制气动执行器以保持卡块卡持力度，防止晶圆脱落。

发明内容

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：一种晶圆夹持装置，它包括晶圆承载板体、定位块、气动执行器、直线导轨、滑块、压力传感器、卡块、位置传感器。所述晶圆承载板体安装固定在机械手臂的末端手臂内，板体上面安装四个晶圆定位块，直接承载晶圆；所述气动执行器安装固定机械手臂的末端手臂内，气动执行器底端设有位置传感器，气动执行器前端上的滑杆连接在滑块上；所述滑块安装在直线导轨上；所述压力传感器是高精度微型纽扣式，安装固定在滑块上，并通过线缆连接到控制器；所述卡块安装固定在压力传感器上；

进一步地，气动执行器的工作气体为经干燥的压缩空气，气压不大于1.5Mpa；

进一步地，直线导轨应使用真空油脂，以防止油脂颗粒挥发，污染晶圆及晶圆反应腔室。

进一步地，压力传感器使用高精度微型纽扣式；

进一步地，当机械手臂传输晶圆时，压力传感器通过数据线缆实时将压力数据传输到控制器，控制器通过压力数据与设定的安全压力值进行对比，实时调节，确保卡块安全卡住晶圆，防止晶圆脱落破碎。

附图说明

图1是本发明一种实施例的示意图；

图2是本发明的夹持机构的示意图；

1.晶圆承载板体；2.板体前部定位块；3. 板体后部定位块；4. 板体固定安装位；5.机械手臂末端手臂； 6.气动执行器收缩气管；7.气动执行器伸展气管；8.位置传感器线缆；9.位置传感器；10.气动执行器；11.压力传感器线缆；12.直线导轨；13.滑块；14.压力传感器；15.卡块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明，图1是本发明一种实施例的示意图，图2是夹持机构的示意图；

本实例所述晶圆承载板体1安装固定在机械手臂的末端手臂5内，板体1上面安装四个晶圆定位块2，直接承载晶圆；所述气动执行器10安装固定机械手臂的末端手臂5内，气动执行器10底端设有位置传感器8，气动执行器10前端上的滑杆连接在滑块13上；所述滑块13安装在直线导轨12上；所述压力传感器14是高精度微型纽扣式压力传感器，安装固定在滑块13上，并通过线缆11连接到控制器；所述卡块15安装固定在压力传感器14上；

所述气动执行器10的工作气体为经干燥的压缩空气，气压不大于1.5Mpa，防止压力过大挤碎晶圆。

所述直线导轨12应使用真空油脂，以防止油脂颗粒挥发，污染晶圆及晶圆反应腔室；