[实用新型]精馏法制备高纯三氟化氮的装置

说明书

本实用新型公开了精馏法制备高纯三氟化氮的装置，包括溶液催化反应罐、精馏蒸发反应罐、气液分离收集罐和气体存储罐，所述溶液催化反应罐的右侧设有所述精馏蒸发反应罐，所述精馏蒸发反应罐的顶部设有输气管，所述输气管连接所述气液分离收集罐，所述气液分离收集罐连接所述气体存储罐；所述溶液催化反应罐的左上侧设有入料口，所述溶液催化反应罐的右下侧连接循环弯管，所述溶液催化反应罐的左侧设有仪表，所述溶液催化反应罐的右侧设有催化气体箱；所述精馏蒸发反应罐的顶部设有电动机，所述电动机转动连接旋流杆，所述旋流杆的外部设有螺旋搅片。该种设备提高了生产率，并且设备成本较低，功能性较强，结构简单。

技术领域

本实用新型涉及化工生产设备技术领域，具体为精馏法制备高纯三氟化氮的装置。

背景技术

三氟化氮主要用途是用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2与F2之间反应能的有效部分(约25％)可以以激光辐射释放出，所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。

目前传统生产设备较为落后，生产效率低，并且设备昂贵，这些问题就需要对传统的设备进行改进，那么如何设计出精馏法制备高纯三氟化氮的装置，这成为我们需要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供精馏法制备高纯三氟化氮的装置，解决了背景技术中所提出的问题。

为解决上述的问题，本实用新型提供如下技术方案：精馏法制备高纯三氟化氮的装置，包括溶液催化反应罐、精馏蒸发反应罐、气液分离收集罐和气体存储罐，所述溶液催化反应罐的右侧设有所述精馏蒸发反应罐，所述精馏蒸发反应罐的的顶部设有输气管，所述输气管连接所述气液分离收集罐，所述气液分离收集罐连接所述气体存储罐；

所述溶液催化反应罐的左上侧设有入料口，所述溶液催化反应罐的右下侧连接循环弯管，所述溶液催化反应罐的左侧设有仪表，所述溶液催化反应罐的右侧设有催化气体箱；

所述精馏蒸发反应罐的顶部设有电动机，所述电动机转动连接旋流杆，所述旋流杆的外部设有螺旋搅片，所述精馏蒸发反应罐的内部设有多个加热蒸馏棒，所述精馏蒸发反应罐的底部设有控温组件。

优选的，所述气液分离收集罐整体设为球形体，所述气液分离收集罐的内部设有气液分离器，所述气液分离收集罐的右上侧设有出气管，所述出气管与所述气体存储罐密封连接。

优选的，所述控温组件包括温度感应器和继电器，所述温度感应器与所述继电器电路连通，所述继电器与所述加热蒸馏棒电路连通。

优选的，所述仪表设为多功能仪表，所述仪表设为可显示温度、浓度和压力。

优选的，所述循环弯管上设有控制阀门。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型整体设计改变了传统设计思维，通过利用溶液催化反应罐进行充分的化学反应，并可以通过利用催化气体箱向溶液催化反应罐内部注入催发反应的气体，加速化学反应，提高生产的效率，整体设计简单，便于进行使用。

2.本实用新型通过设计了精馏蒸发反应罐，利用加热蒸馏棒进行加热，并通过电动机带动旋流杆加速液体流动，充分进行精馏，同时可利用控温组件进行控制温度，功能性强，具备较强的推广价值。

附图说明

图1为本实用新型精馏法制备高纯三氟化氮的装置结构示意图；