[实用新型]自旋式冲洗干燥装置

权利要求书

1.一种自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，包括：

基板放置部，能够进行旋转，上部用于安放基板；

上部护环，其配置于所述基板放置部的侧面外周；

气流缓和部，其在所述上部护环的侧壁面贯通形成有第一贯通孔，使随着所述基板放置部的旋转而在所述上部护环的内壁面形成的旋转气流中一部分通过所述第一贯通孔向所述上部护环的外侧流出，从而缓和从所述基板放置部的下部向上部流动的上升气流。

2.根据权利要求1所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

所述第一贯通孔形成在随着所述基板放置部旋转而发生旋转气流的区域中的所述旋转气流相对于所述上部护环内面的流速最高的位置上。

3.根据权利要求2所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

所述基板放置部包括：

自旋板，其可旋转地配置于所述上部护环的内部；

基板支撑部，其配置于所述自旋板的上面，支撑所述基板；

连接部，其向所述自旋板的边缘外侧凸出地配置，连接所述基板支撑部与所述自旋板的旋转轴，

所述第一贯通孔位于所述连接部的配置高度。

4.根据权利要求1所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

沿着所述上部护环的圆周方向隔开配置有多个所述第一贯通孔。

5.根据权利要求1所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

所述第一贯通孔沿着所述上部护环的圆周方向，以环形状形成。

6.根据权利要求1所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

所述上部护环具有弯曲的剖面形状。

7.根据权利要求1所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

还包括第二贯通孔，其沿着所述第一贯通孔的下侧隔开地配置，且贯通形成在所述上部护环的侧壁面，

当所述基板放置部旋转，使所述上部护环的外侧空气通过所述第二贯通孔流入所述上部护环的内侧时，在配置于所述基板放置部下部的泄口的入口形成正压。

8.根据权利要求7所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

沿着所述上部护环的圆周方向隔开配置有多个所述第二贯通孔。

9.根据权利要求7所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

所述第二贯通孔沿着所述上部护环的圆周方向，以环形状形成。

10.根据权利要求7所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

还包括配置于所述基板放置部的下部的下部护环。

11.根据权利要求10所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

所述下部护环包括：

底面部，其封堵所述基板放置部的下部；

侧壁部，其在所述底面部的边缘延长形成。

12.根据权利要求11所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

在所述侧壁部，贯通形成有与所述第二贯通孔连通的连通孔。

13.根据权利要求12所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

沿着所述下部护环的圆周方向隔开配置有多个所述连通孔。

14.根据权利要求12所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

所述连通孔沿着所述下部护环的圆周方向形成。

15.根据权利要求1～14中任一项所述的自旋式冲洗干燥装置，其特征在于，

还包括排气端口部，其在所述基板放置部的下部使气体排出。