[实用新型]一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备有效

专利信息
申请号: 201721351311.8 申请日: 2017-10-19
公开(公告)号: CN207233712U 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 钟清海 申请(专利权)人: 四川英发太阳能科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 代理人: 廖慧敏
地址: 610000 四川省成都市中国(四川)自*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 装置 扩散 自动 插片机上料 设备
【权利要求书】:

1.一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,其特征在于:包括用于放置石英舟(7)的上料篮(6),上料篮(6)的两侧均设有挡板(2),挡板(2)上设有定位柱(1),且定位柱(1)延伸到挡板(2)外,定位柱(1)的下侧连接设有支撑板,支撑板的内侧与挡板(2)固定连接,支撑板的两侧分别设有一个横截面为长方形的延伸脚(3),每个延伸脚(3)上均设有一个接近开关(4),接近开关(4)用于检测石英舟(7)与定位柱(1)之间的距离。

2.根据权利要求1所述的一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,其特征在于:所述上料篮(6)为上端开口的槽体结构,上料篮(6)内装设有多个呈重叠分布的石英舟(7)。

3.根据权利要求1所述的一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,其特征在于:所述上料篮(6)的内侧设有定位块(8)。

4.根据权利要求3所述的一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,其特征在于:所述定位块(8)的个数为四个。

5.根据权利要求4所述的一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,其特征在于:所述定位块(8)的分布在石英舟(7)的两侧,所述定位块(8)位于上料篮(6)的侧边与定位柱(1)所在侧边相互垂直。

6.根据权利要求5所述的一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,其特征在于:所述定位块(8)与上料篮(6)的侧边螺纹连接。

7.根据权利要求5所述的一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,其特征在于:所述定位块(8)与上料篮(6)的侧边可拆卸连接。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的一种具有防碎装置的扩散自动插片机上料设备,其特征在于:所述上料篮(6)安装在平台(5)上。

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