[实用新型]一种具有保护挡板的化学沉积装置有效
| 申请号： | 201721351345.7 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN207418857U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 白秋云 | 申请（专利权）人： | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 薛波 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 漏斗状挡板 圆柱形腔室 化学沉积 保护挡板 本实用新型 夹持组件 圆台形腔 内壁 样件 沉积物颗粒 气体导流 圆柱形腔 回收 导流槽 反应腔 固定件 夹持 外壁 粘附 沉积 连通 散落 室内 保证 | ||
1.一种具有保护挡板的化学沉积装置，其特征在于，包括圆柱形的反应炉，所述反应炉由内而外包括圆柱形加热体(2)、四个反应腔(1)、圆环形加热体(3)和外壳(4)，每个所述反应腔(1)均包括圆柱形腔室(11)和位于圆柱形腔室(11)正上方的圆台形腔室(12)，所述圆柱形腔室(11)和圆台形腔室(12)连通，所述圆柱形腔室(11)内设置有用于夹持样品的夹持组件(7)和用于回收沉积物颗粒的漏斗状挡板(5)，所述漏斗状挡板(5)位于夹持组件(7)的上方，所述漏斗状挡板(5)通过固定件(6)与圆柱形腔室(11)的内壁固定连接，所述漏斗状挡板(5)的外壁上设置有为反应后的气体导流的导流槽(58)，所述漏斗状挡板(5)内还设置有排出沉积物颗粒的出口。
2.如权利要求1所述的具有保护挡板的化学沉积装置，其特征在于，所述导流槽(58)为沿漏斗状挡板(5)的母线方向分布的圆弧形凹槽。
3.如权利要求1所述的具有保护挡板的化学沉积装置，其特征在于，所述漏斗状挡板(5)的外壁上镀有一层银膜。
4.如权利要求1所述的具有保护挡板的化学沉积装置，其特征在于，所述漏斗状挡板(5)内设置有多个直径大小不一的圆形金属网。
5.如权利要求1所述的具有保护挡板的化学沉积装置，其特征在于，所述圆台形腔室(12)内设置有分子筛吸附层，所述分子筛吸附层包括通过螺钉固定在圆台形腔室(12)内壁上的两层金属网和位于两层属网之间的活性氧化铝。
6.如权利要求1所述的具有保护挡板的化学沉积装置，其特征在于，所述固定件(6)为金属锁链，所述金属锁链的两端分别与漏斗状挡板(5)和圆柱形腔室(11)的内壁连接。
7.如权利要求1所述的具有保护挡板的化学沉积装置，其特征在于，所述夹持组件(7)包括固定在圆柱形腔室(11)内壁上的两个固定板(70)，每个所述固定板(70)上设置有固定样件的固定槽(71)，所述固定槽(71)内设置有固定钉。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
