[实用新型]一种分子泵真空接头

说明书

本实用新型涉及一种真空接头，尤其涉及一种分子泵真空接头。该装置包括固定在所述分子泵上的第二接口法兰，固定在第二接口法兰上的法兰爪，在第二接口法兰上设置有与法兰爪相配合的限位结构。本实用新型能有效的防止高速运转的转子在突然抱死时分子泵被抛出的现象发生，安全性提高；克服了现有技术中通过增加一圈螺栓来紧固分子泵，使得重量增加的缺点，本实用新型重量轻、生产成本低。

技术领域

本实用新型涉及一种真空接头，尤其涉及一种分子泵真空接头。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传递给气体分子，使气体分子获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵的这种特性，需要高速旋转的转子，但是高速旋转中的转子一旦抱死，扭矩瞬时可增至16000Nm。而现有的分子泵是利用法兰爪与需抽真空设备用螺栓进行固定，分子泵旋转自由度完全由法兰爪与螺栓的预紧力进行限制。这就造成转子抱死时，分子泵转动，分子泵与需抽真空设备的连接处ISO-K形式的法兰松动，造成法兰爪和螺栓失效，进而造成分子泵从法兰上脱落。转子释放的能量可能将分子泵抛出，造成严重伤害或大面积的破坏，严重时可能会致人死亡。

现有技术中通常采用ISO-F的结构形式去解决此问题，加大分子泵泵口，在泵口加固一圈的螺栓。但是这种结构增加了分子泵泵口的直径，增加了分子泵的重量，并且生产成本增加。

发明内容

本实用新型为解决上述技术问题，提供一种结构设计合理、生产成本低、安全可靠的分子泵真空接头。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种分子泵真空接头，设置于分子泵上，该分子泵真空接头包括固定在所述分子泵上的第二接口法兰，固定在第二接口法兰上的法兰爪，在第二接口法兰上设置有与法兰爪相配合的限位结构。该设计不用增加分子泵泵口，依靠限位结构与法兰爪的配合，使得分子泵牢固的固定在需抽真空设备上；当出现分子泵转子突然抱死时，限位结构的限位作用抵消瞬时扭矩的增加，避免法兰爪松动，从而有效的避免了意外的发生。

所述限位结构由接合在第二接口法兰上的凸部形成，所述凸部的远离第二接口法兰的宽度小于凸部与第二接口法兰接合的一端的宽度。此设计便于法兰爪装入凸部；并且凸部与法兰爪接触面积大、连接强度高，能承受更大的作用力。

更进一步，所述限位结构上设置有利于法兰爪与限位结构装配的导向部。

更进一步，导向部的深度不超过限位结构深度的一半。此设计加强限位结构的限位作用。

更进一步，所述限位结构均布在所述第二接口法兰上。

更进一步，所述分子泵上设置有翻边，所述法兰爪上接合有搭接在所述翻边上的搭接部。此设计更方便法兰爪与分子泵之间的固定。

更进一步，所述第二接口法兰上均布有与所述螺钉配合的螺孔。

更进一步，还包括起密封作用的中心定位环，所述中心定位环设置在所述分子泵的顶端。此设计加强分子泵与需抽真空设备之间的密闭性。

更进一步，还包括套设于所述中心定位环上的密封圈。此设计的密封圈与中心定位环配合使用，使得密封效果更好。

本实用新型同现有技术相比具有以下优点及效果：

1、本实用新型相比现有技术，将分子泵与需抽真空的设备牢固的固定在一起，能有效的防止高速运转的转子在突然抱死时分子泵被抛出的现象发生，安全性提高；

2、本实用新型克服了现有技术中通过增加一圈螺栓来紧固分子泵，使得重量增加的缺点，本实用新型重量轻、生产成本低。

附图说明