[实用新型]蒸发源装置以及溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种蒸发源装置，与真空镀膜室配合使用，包括具有蒸发腔的蒸发箱、置于所述蒸发腔内的坩埚，所述坩埚开设有开口朝上设置并用于存放药液的存药腔，所述蒸发箱于其侧壁开设于蒸发腔连通与所述真空镀膜室对接的出料口，其特征在于，所述蒸发源装置还包括用于驱动所述坩埚以使所述坩埚在初始状态和蒸镀状态之间切换的驱动机构，所述坩埚在初始状态时所述存药腔腔口朝上设置，而在所述蒸镀状态时所述存药腔腔口朝向所述出料口设置。

2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述驱动机构包括与所述坩埚连接传动轴以及用于驱动所述传动轴以带动所述坩埚在所述初始状态和所述蒸镀状态之间切换的电机，所述电机固定于所述蒸发箱。

3.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述传动轴穿过一所述蒸发箱一箱壁，所述电机位于所述蒸发箱外侧。

4.如权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述传动轴一转动端转动连接于所述蒸发箱另一箱壁。

5.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置包括用于连接所述驱动机构和所述坩埚的给进驱动器，所述进驱动器在所述坩埚处于所述蒸镀状态时驱动所述坩埚朝出料口运动以使所述坩埚抵靠所述蒸发腔腔壁。

6.如权利要求1至5任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发箱包括真空放气口、真空抽气口以及供所述药液送入的入料口；

所述蒸发源装置包括设于所述出料口处并用于截断或导通所述蒸发腔和所述真空镀膜室的第一真空阀、设于所述入料口处并用于截断或导通所述蒸发腔与外部的第二真空阀、设于所述真空放气口处的真空放气阀、设于所述真空抽气口处的真空抽气阀以及与所述真空抽气阀连接并在所述真空放气阀关闭、所述真空抽气阀打开时用于将所述蒸发腔抽真空的真空泵。

7.如权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置包括送料组件，所述送料组件包括一出料管口的引料管、用于存放所述药液的药瓶、用于将所述药液从所述药瓶抽至所述引料管并直至所述药液从所述出料管口溢出的柱塞泵以及用于驱动所述引料管、所述药瓶和所述柱塞泵一并运动且使所述出料管口经所述入料口并到达所述存药腔上方的送料驱动器。

8.如权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于，所述真空放气阀和所述真空抽气阀均位于所述蒸发箱外侧。

9.如权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于，所述出料口为从上往下布置的长条孔设置，所述坩埚和所述驱动机构至少设有两对，一所述驱动机构用于驱动一所述坩埚，各所述坩埚从上往下间隔布置，所述入料口至少设有两个，所述送料组件设有两个，一所述送料组件分布通过一所述入料口来给一所述坩埚供料。

10.一种溅射镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1所述的蒸发源装置以及与所述蒸发源装置配合使用的蒸镀室。