[实用新型]一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置有效
| 申请号： | 201721362483.5 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN207276777U | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 王耀亮 | 申请（专利权）人： | 上海跃绅能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201412 上海市奉贤*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 单晶炉 尾气 回收 效率 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，其特征在于，包括单晶炉(1)、除尘过滤器(2)、真空泵(3)、压力变送器(4)、放空管路(10)和回收管路(11)；所述单晶炉(1)一端连接至除尘过滤器(2)，除尘过滤器(2)的另一端连接至真空泵(3)，真空泵(3)的另一端通过管路a分别连接至放空管路(10)和回收管路(11)，且管路a上安装有压力变送器(4)；所述放空管路(10)上安装有放空管路手动阀(5)和放空管路自动阀(6)，回收管路(11)上安装有两个回收管路手动阀(7)和一个回收管路自动阀(8)；所述单晶炉(1)的另一端通过管路b分别连接至放空管路自动阀(6)和回收管路自动阀(8)，所述管路b上安装有状态指示器(9)。
2.根据权利要求1所述的提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，其特征在于，所述放空管路手动阀(5)位于放空管路自动阀(6)的左侧。
3.根据权利要求1所述的提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置，其特征在于，所述回收管路自动阀(8)位于两个回收管路手动阀(7)之间。
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