[实用新型]全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置

说明书

本实用新型公开了一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，属于半导体制造、太阳能电池制造及液晶制造领域。该装置包括气动机构、齿轮传动机构和连杆传动机构，所述齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖的第一转轴，与第一自动槽盖相对应的第二自动槽盖的第二转轴通过所述连杆传动机构与齿轮传动机构连接，所述齿轮传动机构通过气动机构驱动带动第一转轴和连杆传动机构使第一自动槽盖和第二自动槽盖同时开启和关闭。本实用新型能够提高全自动设备使用的安全性和运行的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造、太阳能电池制造及液晶制造技术领域，特别是指一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置。

背景技术

随着半导体器件关键尺寸的不断变化及新材料的引入，在半导体器件的制造过程中，对半导体基板表面的洁净度要求越来越苛刻，同时，既要满足基板清洗效果的同时又要提升清洗效率。

目前基板清洗仍是以湿式清洗为主，湿式清洗通常分为槽式清洗和单片清洗两种方式。槽式清洗在功能方面又分为手动清洗和全自动清洗，全自动清洗在无人工干预的同时，按照既定程序完成若干基板的清洗，具有很高的清洗效率。在全自动清洗过程中，为了保证基板在清洗过程中不被外界污染，药液槽体会配有自动槽盖，根据自动工艺，槽盖需要灵活开启和关闭，以保证全自动运行的稳定性。

对于先有的药液槽体上有两个或两个以上的自动槽盖，发明人在研究过程中发现，当需要开启和关闭所有的自动槽盖时，由于每个自动槽盖都是由单独的机构控制其自动开启和关闭，不同的自动槽盖在开启和关闭会存在一定的时间差，由此降低了药液使用的安全性和设备运行的稳定性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提高全自动设备使用的安全性和运行的稳定性的全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供技术方案如下：

一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置，包括气动机构、齿轮传动机构和连杆传动机构，所述齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖的第一转轴，与第一自动槽盖相对应的第二自动槽盖的第二转轴通过所述连杆传动机构与齿轮传动机构连接，所述齿轮传动机构通过气动机构驱动带动第一转轴和连杆传动机构使第一自动槽盖和第二自动槽盖同时开启和关闭。

进一步的，所述气动机构包括支座、与所述支座铰接连接的气缸以及与所述气缸的活塞杆的端部固定连接的气缸接头，所述气缸接头的端部转动连接有用于与所述齿轮传动机构固定连接的第一连杆。

进一步的，所述齿轮传动机构包括第一齿轮和与所述第一齿轮外啮合的第二齿轮，所述第一连杆和第一自动槽盖的第一转轴均与第一齿轮固定连接。

进一步的，所述连杆传动机构包括相互固定连接的第二连杆、中间连杆和第三连杆，所述第二连杆的末端转动连接有与所述第二齿轮固定连接的第四连杆，所述第三连杆的末端转动连接有与第二自动槽盖的第二转轴固定连接的第五连杆，所述连杆传动机构的中心线与所述第一自动槽盖的第一转轴和第二自动槽盖的第二转轴的轴线垂直。

进一步的，所述气缸为配有磁环的双作用气缸，所述气缸的外部设置有磁性开关。

进一步的，所述第一自动槽盖的第一转轴的外表面和所述第二自动槽盖的第二转轴的外表面均做防腐处理或者所述第一转轴和第二转轴采用耐腐蚀材料制成。

进一步的，所述第一自动槽盖的第一转轴和所述第二自动槽盖的第二转轴采用不锈钢或PEEK材料制成。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：