[实用新型]提高舟内方阻均匀性的石英舟

说明书

本实用新型涉及一种提高舟内方阻均匀性的石英舟，通过在石英舟上新增与硅片大小、厚度均相等的石英固定隔板，有效解决了石英舟本身结构带来的边缘片扩散后方阻异常现象；通过新增可活动的，大小、厚度与硅片大小、厚度均相等的石英活动隔板，灵活有效解决因应力片、导片机掉片等异常导致不固定位置的新增边缘片扩散后方阻异常现象。

技术领域

本实用新型涉及太阳能技术领域，尤其是用于太阳能电池片领域扩散工序所用的石英舟，本实用新型提供一种提高舟内方阻均匀性的石英舟。

背景技术

目前太阳能电池片领域中，制作P-N结，即扩散为太阳能电池技术的核心，扩散通过石英舟承载硅片，在炉管的高温环境中通源，生产磷等第三组族单质，并扩散到硅片表面的一个过程，其中，炉管内气场的流动分布对石英舟内硅片的表面浓度与结深影响较大，主要通过硅片表面方阻的测试来体现，目前石英舟主要采用的放片方式有卡槽式菱形放片方式和卡槽式方形放片方式两种，硅片以一固定间隔，彼此擦放在卡槽内，这不可避免会使硅片区域产生边缘片，因此对边缘侧硅片做了如下实验：

确认异常实验：

搜集边缘侧硅片进行方阻测试：发现方阻异常偏低，均值70欧姆/◇，超过标准范围(83～97欧姆/◇)；

搜集紧挨边缘侧硅片的另一片进行方阻测试，发现方阻在正常范围内(83～97欧姆/◇)；

搜集边缘侧硅片与紧挨着的另一片进行产线对比实验，发现边缘侧硅片功率较另一片功率低0.07W以上，主要体现在开压与电流的损失，且对后档位进行EL测试，均为暗片；

于应力片、倒片机掉片等原因，不得不将石英舟内部分片子取出返工的情况，会导致一个硅片区域变成两个以上的硅片区域(即片间距超过一个卡槽距离，且该中边缘片位置、大小均不能确定，先对该边缘侧硅片，进行方阻测试，发现其比与其相邻硅片方阻低10欧姆/◇，且随距离增大变得更低；

由上述实验可知，石英舟本身结构容易带来的边缘片扩散后方阻异常现象；因应力片、导片机掉片等异常容易导致不固定新增边缘片扩散后方阻异常现象；边缘片由于方阻的异常，将直接影响产线功率，产生大量低功率片。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术中石英舟本身结构带来的边缘片扩散后方阻异常现象；因应力片、导片机掉片等异常导致不固定新增边缘片扩散后方阻异常现象的问题，提供一种提高舟内方阻均匀性的石英舟。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种提高舟内方阻均匀性的石英舟，包括舟体，所述舟体由舟脚、舟身和卡槽组成，其特征在于：还包括固定隔板，两张所述固定隔板分别固定安装在舟身两端的卡槽内，所述固定隔板的大小、厚度与硅片的大小、厚度均相等，所述固定隔板的材料为防高温、防酸材料。

本实用新型在石英舟舟体的两端分别固定安装与硅片大小、厚度均相等的固定隔板，使得新增的固定隔板变为现在的边缘侧硅片，经过扩散后，原先边缘侧硅片方阻正常，现在边缘侧硅片方阻异常偏低，即在边缘侧外侧新增固定隔板可使得硅片方阻变为正常。

在扩散的过程中，因应力片、导片机掉片等异常容易导致不固定边缘片新增，扩散后出现方阻异常现象，为解决这一问题，本实用新型还包括活动隔板，若干所述活动隔板插设在所述卡槽内，所述活动隔板的大小、厚度与硅片的大小、厚度均相等，所述活动隔板的材料为防高温、防酸材料。

本实用新型在石英舟舟体的卡槽内插设若干活动的，大小、厚度与硅片均相等的活动隔板，用于替换应力片、导片机掉片或插设在新增边缘片旁边的卡槽内，来防止扩散后方阻异常偏小现象。

作为优选，所述固定隔板与所述活动隔板的材料均为石英。