[实用新型]一种超大晶体快速生长装置有效
申请号: | 201721366541.1 | 申请日: | 2017-10-23 |
公开(公告)号: | CN207313742U | 公开(公告)日: | 2018-05-04 |
发明(设计)人: | 李中波;唐华纯 | 申请(专利权)人: | 上海御光新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201807 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 超大 晶体 快速 生长 装置 | ||
1.一种超大晶体快速生长装置,其特征在于,包括:
炉体,所述炉体包括位于上部的高温区、中部的中温区以及下部的低温区,所述炉体内设置有炉膛;
设置在炉体底部的铁板平台;
位置于炉膛内的坩埚;
所述炉膛内竖直固定设置耐火管,所述坩埚放置在所述耐火管内;
流体冷却装置,所述流体冷却装置与所述炉体连接;
设置在所述炉体下方的升降装置,包括支架、垂直升降杆,电机,垂直升降杆垂直设置在支架上,所述坩埚垂直固定设置在垂直升降杆上,所述电机与垂直升降杆连接,以控制垂直升降杆的升降,进而控制坩埚在所述高温区与所述低温区之间往复运动。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述耐火管为陶瓷管。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括:所述炉体外周侧的加热装置,所述加热装置包括位于高温区内的高温发热丝及位于中温区的中温发热丝。
4.根据权利要求1至3之一所述的装置,其特征在于,所述加热装置在所述高温区和所述中温区均设置有控温热电偶。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述流体冷却装置包括:充气泵、充气阀、喷嘴,所述充气泵与充气阀连接,所述喷嘴设置在所述炉体内并位于炉体低温区,所述充气阀与喷嘴连接。
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