[实用新型]真空镀膜设备

说明书

本实用新型提供了一种真空镀膜设备，包括：顶盖，朝向工作腔内部的一侧设置有加热丝；第一温度传感器，设置在工作腔的顶部；第二温度传感器，设置在顶盖的上方；第三温度传感器，设置在工作腔的底板的下方；顶盖上设置有第一透明观察窗，第一透明观察窗位于第二温度传感器的正下方；工作腔的底部设置有第二透明观察窗，第二透明观察窗位于第三温度传感器的正上方。本实用新型提供的真空镀膜设备通过在顶盖上方设置第二温度传感器，在工作腔的下方设置第三温度传感器，并利用透明观察窗的设置分别对基板上方和下方进行红外测温，保证了基板稳定在工艺要求温度，实现了优良的工艺结果。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池的制造过程中的温度测试，尤其涉及一种真空镀膜设备。

背景技术

在薄膜太阳能电池的制备过程中，温度是重要的参数之一。薄膜电池的制造设备包括物理气相沉积PVD、铜铟镓硒蒸镀(CIGS设备)都为板式、多腔室工艺设备，在不同腔室、同腔室不同区域都有不同的工艺温度要求。

现有技术中的加热器对各区域进行加热后，加热器的温度由传感器传至控制器进行腔室温度控制。现有技术中的传感器通过与加热器缠绕接触来实现测量，这种测量方法只能测量加热器表面的温度，无法获取腔室中待制备的基板所处的环境温度，因此导致温度测量的不准确。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空镀膜设备，以解决现有技术中的问题，提高基板的温度测试精准性。

本实用新型提供了一种真空镀膜设备，包括用于镀膜的工作腔，所述工作腔的顶部设置有开口，所述工作腔的内部用于容置基板，其中，所述真空镀膜设备还包括：

顶盖，封堵所述开口；所述顶盖朝向所述工作腔内部的一侧设置有加热丝；

第一温度传感器，设置在所述工作腔的顶部；

第二温度传感器，设置在所述顶盖的上方；

第三温度传感器，设置在所述工作腔的底板的下方；

所述顶盖上设置有第一透明观察窗，所述第一透明观察窗位于所述第二温度传感器的正下方；

所述工作腔的底部设置有第二透明观察窗，所述第二观察窗位于所述第三温度传感器的正上方。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述第一温度传感器为热电偶。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述第二温度传感器为红外测温仪。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述第三温度传感器为红外测温仪。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述顶盖与所述开口之间通过密封垫密封固定。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述工作腔包括加热腔、工艺腔和冷却腔。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，还包括进片腔和出片腔。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述第一温度传感器缠绕在所述加热丝上。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述加热丝焊接在所述顶盖上。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述第一温度传感器缠绕固定在所述加热丝上。

本实用新型提供的真空镀膜设备通过在顶盖上方设置第二温度传感器，在工作腔的下方设置第三温度传感器，并利用透明观察窗的设置分别对基板上方和下方进行红外测温，保证了基板稳定在工艺要求温度，实现了优良的工艺结果。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的真空镀膜设备的工作腔结构示意图。