[实用新型]一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置有效
| 申请号： | 201721368355.1 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN207661425U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 秦俊;蔡金荣 | 申请（专利权）人： | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14;F17D3/01;C30B33/10 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 俞俏翠 |
| 地址： | 212200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 泄压管道 液位感应器 传输 硫酸桶 硫酸输送装置 本实用新型 蓝宝石 衬底片 酸洗槽 泄压阀 酸洗 生产效率 输送装置 顺序连接 一端连接 持续性 硫酸 堵塞 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，包括硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽，所述硫酸桶、泵、传输阀和酸洗槽通过管道依次顺序连接，其特征在于，所述输送装置还包括泄压管道，所述泵与所述传输阀之间的管道上设有液位感应器，所述泄压管道的一端与硫酸桶相连接，另一端连接于所述液位感应器与所述传输阀之间的管道上，或者所述传输阀与所述酸洗槽之间的管道上设有液位感应器，所述泄压管道的一端与硫酸桶相连接，另一端连接于所述液位感应器与所述酸洗槽之间的管道上，所述泄压管道上设有泄压阀。
2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，其特征在于所述泵为气动隔膜泵，型号为TREBOR MODEL 110。
3.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，其特征在于所述传输阀和泄压阀均为气动隔膜阀，型号为CKD AMD313R-15BUP-00N4F。
4.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底片酸洗的硫酸输送装置，其特征在于所述液位感应器为光电式接近开关，型号为OMRON E2K-L26MC1。
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