[实用新型]一种用于晶片加工的超精密双面抛光机

说明书

本实用新型公开了一种用于晶片加工的超精密双面抛光机，所述的气缸安装在横梁的顶面上，连接盘通过球头轴承安装在气缸的活塞杆上，上抛光盘安装在连接盘上，第一从动齿轮与第一主动齿轮啮合，第二主动齿轮安装在第二变频电动机的输出轴上，第二从动齿轮与第二主动齿轮啮合，中心轮安装在内轴上，第三从动齿轮与第三主动齿轮啮合，第四主动齿轮安装在第四变频电动机的输出轴上，第四从动齿轮与第四主动齿轮啮合，外轴两端分别安装在上静压支撑和下静压支撑上，工作台安装在床身的顶面上，下抛光盘安装在中轴的顶面上。本实用新型结构具有高的运动精度和稳定性，能精密控制加载过程且有可控的工件运动轨迹。

技术领域

本实用新型属于一种抛光机技术领域，具体涉及一种用于晶片加工的超精密双面抛光机。

背景技术

双面抛光加工是工件随行星轮做行星式转动的同时，上下表面由上下抛光盘施加压力，依靠抛光液中微小磨粒的划擦作用而微细去除表面材料的一种精密加工方法。传统的双面抛光机由于机床结构和控制系统的不完善，使加工的晶片平整度差，加工效率低，达不到光电子材料晶片苛刻的加工精度和表面质量要求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足提供一种用于晶片加工的超精密双面抛光机，其具有高的运动精度和稳定性，能精密控制加载过程且有可控的工件运动轨迹。

为实现上述技术目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种用于晶片加工的超精密双面抛光机，其中：包括气缸、球头轴承、连接盘、横梁、立柱、上抛光盘、行星轮、内齿圈、外轴、上静压支撑、液压缸、第一变频电动机、第二变频电动机、右电机安装座、第二主动齿轮、第一主动齿轮、第三从动齿轮、第二从动齿轮、第一从动齿轮、可调支撑、左电机安装座、第三主动齿轮、内轴、第三变频电动机、中轴、下静压支撑、床身、第四变频电动机、第四从动齿轮、工作台、第四主动齿轮、下抛光盘、工件、中心轮和长轴，所述的气缸安装在横梁的顶面上，所述的横梁固定安装在立柱上，所述的立柱固定安装在床身的顶面上，所述的连接盘通过球头轴承安装在气缸的活塞杆上，所述的上抛光盘安装在连接盘上，所述的第一变频电动机和第二变频电动机都固定安装在右电机安装座上，所述的右电机安装座安装在床身内且右电机安装座靠近床身的右侧面，所述的第一主动齿轮安装在第一变频电动机的输出轴上，所述的第一从动齿轮与第一主动齿轮啮合且第一从动齿轮安装在内轴上，所述的第二主动齿轮安装在第二变频电动机的输出轴上，所述的第二从动齿轮与第二主动齿轮啮合且第二从动齿轮安装在长轴上，所述的长轴通过轴承安装在床身内，所述的中心轮安装在内轴上，所述的第三变频电动机和第四变频电动机都固定安装在左电机安装座上，所述的左电机安装座安装在床身内且左电机安装座靠近床身的左侧面，所述的第三主动齿轮安装在第三变频电动机的输出轴上，所述的第三从动齿轮与第三主动齿轮啮合且第三从动齿轮安装在外轴上，所述的第四主动齿轮安装在第四变频电动机的输出轴上，所述的第四从动齿轮与第四主动齿轮啮合且第四从动齿轮安装在外轴上，所述的外轴两端分别安装在上静压支撑和下静压支撑上，所述的上静压支撑和下静压支撑都安装在床身内，所述的内齿圈安装在外轴上，所述的工作台安装在床身的顶面上，所述的下抛光盘安装在中轴的顶面上，所述的行星轮安装在下抛光盘的顶面上，所述的工件安装在下抛光盘的顶面上且工件位于内齿圈和行星轮之间，所述的液压缸安装在床身内，所述的上静压支撑和下静压支撑都通过管路与液压缸连接。

为优化上述技术方案，采取的具体措施还包括：

上述的上抛光盘的轴线与下抛光盘的轴线在同一条直线上。

上述的连接盘采用法兰盘结构形式。

上述的工作台采用花岗石材料制作而成。