[实用新型]一种旋转靶材绑定固定装置

说明书

本实用新型公开一种旋转靶材绑定固定装置，包括旋转靶材、金属管，旋转靶材套设于金属管外，旋转靶材与金属管之间形成浇筑腔体，浇注腔体两端口设有密封块，密封块插设有用于对浇注腔体内的金属填料进行电弧加热的第一电极；金属管内穿设有加热管，加热管端部密封，加热管的端部设有用于对加热管内的金属填料进行电弧加热的第二电极。本实用新型结构简单，易于操作，加热均匀，熔接效果好。

技术领域

本实用新型涉及靶材应用领域，尤其涉及一种旋转靶材绑定固定装置。

背景技术

旋转靶材绑定过程是指利用低熔点金属或粘胶把旋转靶材与金属管之间连接在一起的过程。在目前采用金属熔接的方案中，需要先对金属管与靶材进行预热，然后在利用位于金属管内的加热器与位于金属管外的加热器同时加热，时金属管与靶材之间的金属填料融化，这技术方案所用到的现有设备大多结构复杂，以至于难以把握密封性能，很容易造成漏浆现象；金属填料加热不均匀，影响熔接效果。

实用新型内容

本实用新型为解决现有的技术缺陷，提供了一种旋转靶材绑定固定装置，其结构简单，易于操作，加热均匀，熔接效果好。其具体的技术方案如下：

本实用新型公开一种旋转靶材绑定固定装置，包括旋转靶材、金属管，旋转靶材套设于金属管外，旋转靶材与金属管之间形成浇注腔体，浇注腔体两端口设有密封块，密封块插设有用于对浇注腔体内的金属填料进行电弧加热的第一电极；金属管内穿设有加热管，加热管端部密封，加热管的端部设有用于对加热管内的金属填料进行电弧加热的第二电极。

进一步地，旋转靶材的端部设有圆环状的盖板，金属管穿插于盖板内圈，密封块与盖板连接。

进一步地，盖板内圈与金属管之间设有密封垫圈，密封垫圈朝向金属管的一侧呈锯齿状。

进一步地，密封垫圈与金属管之间的间隙为1mm-2mm。

进一步地，密封块由导电合金制成，电极的一端埋设于密封块内。

进一步地，盖板之间通过对拉螺杆连接。

进一步地，加热管其中一端开设有进料门。

进一步地，加热管的一端设有温度测量器，温度测量器的测量端延伸至加热管内。

进一步地，加热管与金属管之间的间隙为1mm-2mm。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过第二电极对加热管内的金属填料进行加热，使金属填料融化，进而使加热管的四周侧壁具有较为均匀的温度，加热管的管壁温度传导给金属管侧壁的温度也更均匀，进而使金属管内的金属填料得到一个较均匀的加热温度；通过密封块密封第一腔体，然后在密封块上设置第一电极，以便对浇注腔体内的金属填料进行电加热，结构简单，加热均匀，熔接效果好。

附图说明

图1为本实用新型实施例的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例的A部位局部放大结构示意图。

图中标注：金属管100，旋转靶材200，加热管300，进料门301，第二电极302，温度测量器303，浇注腔体400，密封块401，第一电极402，盖板500，密封垫圈501，对拉螺杆600。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。请参阅图1至图2。