[实用新型]真空传输设备、多工作机构系统及多真空传输设备系统

权利要求书

1.一种真空传输设备，其特征在于，包括：

外壳体，所述外壳体的内部设置有真空腔室；

第一驱动件，位于所述真空腔室的外部；

第一磁流体设备，包括第一磁流体轴，所述第一磁流体轴的一端位于所述真空腔室的外部，所述第一磁流体轴的另一端伸入所述真空腔室内，所述第一磁流体轴能绕自身中心轴进行旋转；

第一传输组件，位于所述真空腔室的外部，所述第一传输组件的输入端与所述第一驱动件连接，所述第一传输组件的输出端与所述第一磁流体轴位于所述真空腔室的外部的一端连接；

第二传输组件，位于所述真空腔室内，所述第二传输组件的输入端与所述第一磁流体轴伸入所述真空腔室内的一端连接；

摩擦轮，位于所述真空腔室内，所述摩擦轮连接在所述第二传输组件的输出端。

2.根据权利要求1所述的真空传输设备，其特征在于，所述第一驱动件为电机。

3.根据权利要求1所述的真空传输设备，其特征在于，所述第一传输组件包括第一带轮、第二带轮和皮带，所述第一带轮与所述第一驱动件的输出轴连接，所述第二带轮与所述第一磁流体轴位于所述真空腔室的外部的一端连接，所述第一带轮和所述第二带轮通过所述皮带传动连接。

4.根据权利要求1所述的真空传输设备，其特征在于，还包括第二磁流体设备，所述第二磁流体设备包括第二磁流体轴，所述第二磁流体轴的一端位于所述真空腔室的外部，所述第二磁流体轴的另一端伸入所述真空腔室内，所述第二磁流体轴能绕自身中心轴旋转；

还包括摆动驱动组件，所述摆动驱动组件包括第二驱动件、转动臂和摆臂，所述第二驱动件和所述转动臂位于所述真空腔室的外部，所述摆臂位于所述真空腔室内；

所述转动臂的一端与所述第二驱动件转动连接，所述转动臂的另一端与所述第二磁流体轴位于所述真空腔室的外部的一端固定连接，所述摆臂的一端与所述第二磁流体轴位于所述真空腔室内的一端固定连接；所述摩擦轮连接于所述摆臂的另一端。

5.根据权利要求4所述的真空传输设备，其特征在于，所述第二传输组件包括第一链轮、第二链轮、第三链轮、链条和连接轴；

所述第一链轮与所述第一磁流体轴伸入所述真空腔室内的一端连接；所述第二链轮转动套设于所述第二磁流体轴上，所述第三链轮固定套设于所述连接轴上；所述摩擦轮连接在所述连接轴上；

所述第一链轮、所述第二链轮和所述第三链轮通过所述链条连接。

6.根据权利要求4所述的真空传输设备，其特征在于，所述第二驱动件为气缸。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空传输设备，其特征在于，所述摩擦轮包括芯轴和弹性包覆层，所述弹性包覆层包覆于所述芯轴的外表面上。

8.一种多工作机构系统，其特征在于，包括：

多个工作机构，多个所述工作机构均位于真空环境中；

权利要求1至7中任一项所述真空传输设备，所述真空传输设备能移动至与多个工作机构中的任一个相配合。

9.一种多真空传输设备系统，其特征在于，包括：

多个权利要求1至7中任一项所述的真空传输设备；

工作机构，所述工作机构位于真空环境中，所述工作机构能移动至与多个所述真空传输设备中的任一个相配合。