[实用新型]一种带迷宫密封的线锯张力测量装置

说明书

本实用新型涉及单晶硅金刚线切片机的辅助设备，旨在提供一种带迷宫密封的线锯张力测量装置。该种带迷宫密封的线锯张力测量装置包括传感器安装座、传感器轴、传感器后盖、轴承安装座、轴承、轴承内压盖、轴承外压盖、张力传感器、张力测量导轮、传感器信号处理电路板，传感器信号处理电路与测量装置设计成一体。本实用新型在工作状态时，可有效防止传感器信号受到外部环境的干扰及信号的衰减，能获得更灵敏、准确的张力信号，更能有效防止切割液、硅粉、硅泥进入传感器内部的可能性，能有效确保张力导轮的灵活性。

技术领域

本实用新型是关于单晶硅金刚线切片机的辅助设备领域，特别涉及一种带迷宫密封的线锯张力测量装置。

背景技术

单晶硅自单晶炉中拉制出来为圆柱体。通过截断、切边皮两道粗加工，成为长方体晶棒。晶棒在磨圆角、磨平面、黏胶、切片，四道工序切成薄片。在清洗、腐蚀和再清洗等工序之后，再对晶片进行制绒、扩散、制PN结、镀膜和烧结等工序后制造出用于光伏发电的太阳能电池片。

金刚线切片机用于晶棒切片工序，通过此道工序晶棒被切成0.145mm左右的薄片。金刚线切片机的主辊上均匀布满金刚线，主辊带动金刚线做高速往复运动，晶棒以一定速度向金刚线线网做进给运动，金刚线上的金刚石颗粒对晶棒进行往复摩擦，生产出所需厚度的单晶硅薄片。往复切割过程中，如果金刚线张力变化过于频繁，张力变化幅值过大，非常容易导致金刚线断线，造成极大的原材料浪费并影响硅片质量。因此准确测量金刚线张力和控制金刚线张力是评价切片机的重要指标。

线锯张力测量装置的工作环境存在大量的切割液、硅泥和硅粉，如果这些物质进入张力测量装置内部可能导致张力测量装置的电路故障、测量精度下降等结果，导致线锯张力控制效果下降，严重影响切片质量。这种设计的可能性，有利于信号处理。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种将传感器信号处理电路与测量装置设计成一体，能减少硅泥及切割液进入的张力测量装置。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种带迷宫密封的线锯张力测量装置，包括传感器安装座、传感器轴、传感器后盖、轴承安装座、轴承、轴承内压盖、轴承外压盖、张力传感器、张力测量导轮、传感器信号处理电路板；

所述传感器安装座的底部设有凸台，传感器后盖通过螺钉与传感器安装座配合密封，且在凸台和传感器后盖之间留有空隙(环形空间)；所述传感器信号处理电路板通过螺钉固定在传感器安装座的凸台上，使传感器信号处理电路板置于传感器安装座与传感器后盖之间；传感器安装座顶部设有一阶梯形台阶，并与轴承安装座装配形成迷宫间隙；

所述轴承安装座内装有两个轴承，轴承内压盖通过螺钉(内六角圆柱头螺钉B)将轴承内圈压紧，轴承外压盖与轴承安装座开有对应螺纹孔，轴承外压盖通过螺钉将轴承外圈压紧；

所述传感器轴为阶梯轴，传感器轴的中间挖空并安装有张力传感器；传感器轴的底部径向开有凹槽并与传感器安装座配合，传感器轴的顶部穿过轴承安装座并嵌套在轴承的内圈中；所述张力测量导轮装在轴承安装座上，并利用螺钉(内六角圆柱头螺钉A)固定；

所述传感器信号处理电路板和张力传感器都在市场购买，张力传感器为定制型号，张力传感器型号为563SST1，张力传感器厂家为ANYLOAD；

所述传感器后盖开有两个通孔，压缩空气接口和传感器接口分别穿过传感器后盖的对应通孔，并利用螺母固定；传感器接口用于张力传感器的信号输出；压缩空气能通过压缩空气接口进入传感器后盖(到传感器信号处理电路板)，再从传感器后盖内部吹入传感器轴(到张力传感器)，再从传感器轴吹到迷宫密封，并由迷宫密封最后吹出。

作为进一步的改进，所述轴承采用深沟球轴承。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：