[实用新型]微型气体供应控制器

说明书

一种微型气体供应控制器，其包括：一感测器、一控制单元、一气体管路模块、一流量控制开关及一手动开关。该感测器设置于一储存柜体，提供至少一感测数据。该控制单元依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号。该气体管路模块用以供应气体至该储存柜体。该流量控制开关设置于该气体管路模块，控制该气体管路模块的开启或关闭。该手动开关设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。利用本实用新型的该微型气体供应控制器，可依据感测数据，控制气体是否提供至该储存柜体，以节省气体的成本，且可确保气体能供应至该储存柜体，不会发生因元件异常，不能提供气体至该储存柜体的情况，以维持该储存柜体的温度或湿度。

技术领域

本实用新型涉及微型气体供应控制器。

背景技术

现有储存柜体用以储存经处理或未经处理的晶圆或半导体元件，为使储存柜体内的晶圆或半导体元件不受环境(例如：温度或湿度)的影响，现有储存柜体必须输入气体以维持储存柜体的温度及湿度。现有输入气体的方式是全日不间断地输入气体，造成气体的成本增加。另外，没有其他机制侦测是否气体确实输入至该储存柜体，可能发生气体没有输入至该储存柜体的情况。

实用新型内容

为了克服现有技术中存在的不足与缺陷，本实用新型提供一种微型气体供应控制器。

为达上述目的，本实用新型的微型气体供应控制器包括：

一感测器，其设置于一储存柜体，用以测量该储存柜体的环境数据，提供至少一感测数据；

一控制单元，其电性连接该感测器，依据该至少一感测数据，产生至少一控制信号；

一气体管路模块，其用以供应气体至该储存柜体；

一流量控制开关，其电性连接该控制单元，设置于该气体管路模块，依据该至少一控制信号，控制该流量控制开关的开启或关闭，以控制该气体管路模块的开启或关闭；及

一手动开关，其设置于该气体管路模块，以手动控制该气体管路模块的开启或关闭。

前述的微型气体供应控制器，其中，该感测器用以测量该储存柜体的温度及湿度，以产生一温度感测数据及一湿度感测数据。

前述的微型气体供应控制器，其中，该控制单元还包括一比较器，用以依据该温度感测数据或该湿度感测数据，与一温度设定值或一湿度设定值比较，若该温度感测数据大于该温度设定值，或该湿度感测数据大于该湿度设定值，产生一开启控制信号，控制该流量控制开关开启。

前述的微型气体供应控制器，其中，该气体管路模块还包括一第一支路及一第二支路，该流量控制开关设置于该第一支路，该手动开关设置于该第二支路。

前述的微型气体供应控制器，其中，该气体管路模块还包括一第一管路及一第二管路，该第一管路接收一气体供应源的气体，该第二管路连接至该储存柜体，以输入气体至该储存柜体。

前述的微型气体供应控制器，其中，该气体管路模块还包括一第一个三通阀及一第二个三通阀，该第一个三通阀连接该第一管路、该第一支路及该第二支路，该第二个三通阀连接该第二管路、该第一支路及该第二支路。

前述的微型气体供应控制器，其中，于该感测器、该控制单元或该流量控制开关异常时，该手动开关切换为开启，使气体经由该第二支路输入至该储存柜体。

前述的微型气体供应控制器，其中，该微型气体供应控制器还包括一警报器，用以于该感测器、该控制单元或该流量控制开关异常时发出警报。

前述的微型气体供应控制器，其中，该微型气体供应控制器还包括一面板，该手动开关设置于该面板。

前述的微型气体供应控制器，其中，该微型气体供应控制器还包括多个指示灯，该多个指示灯设置于该面板，用以显示该微型气体供应控制器的状态。