[实用新型]一种棱镜角度装调装置

说明书

本实用新型提出一种棱镜角度装调装置，该测量装置包括基板、棱镜组平台、导轨、精密转台、自准直仪、电脑，该装置解决了棱镜组中各棱镜角度装配、调节的问题。通过捕捉光束入射到棱镜表面的反射光信息，实现对棱镜角度的测量。克服了现有测角仪不能测量几个棱镜角度信息且对棱镜组尺寸要求过高的缺点。

技术领域

本实用新型涉及光学元件，特别地，用于棱镜角度装调的装置。

背景技术

在激光器研发过程中，时常需要对激光光谱(如激光波长、激光线宽)，进行控制以满足不同的应用需求。以准分子激光系统为例，针对光刻应用，为了保证半导体硅片芯片图案的精细度，要求光刻光源有较窄的激光线宽输出。在准分子激光器中一般通过线宽压窄模块完成光谱控制。棱镜组配合光栅是目前使用较广的光谱控制方法。

图1是准分子激光系统线宽压窄模块基本结构示意图，主要包含棱镜组11及光栅22。棱镜组11对到达光栅22之前的光束进行一维的扩束、准直，降低腔内光束能量密度，同时有利于光谱的选择和控制。经过线宽压窄模块后，激光线宽表达式为Δλ＝ΔθN1/2其中，Δθ为激光发散角，N为单脉冲激光在谐振腔内的往返次数，M为棱镜扩束倍率，为Littrow模式的光栅色散，为棱镜组色散。由此可知，棱镜组扩束倍率是影响光谱控制结果的关键。

为了得到较小的线宽(<0.5pm)，通常需要采用3-4个棱镜形成棱镜扩束单元，配合光栅完成光谱控制功能。棱镜组的扩束倍率与光束在棱镜表面的入射角有很大关系(Effects of prism beam expander and slits on excimer laser linewidthnarrowing module，COL 11(4),041405(2013))。为了精确控制激光线宽，需要对光束在棱镜表面的入射角进行精确控制，因此需要使用一种装置对棱镜组中几个棱镜的安装角度进行精细调节。

实用新型内容

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的。

一种棱镜角度装调装置，该测量装置包括基板、棱镜组平台(1)、导轨(4)、精密转台(5)、自准直仪(6)、电脑(7)，其特征在于，

棱镜组平台(1)固定在基板上，用于承载、固定待测量的棱镜组；

第一0°高反镜(2)固定在棱镜组平台(1)上，与棱镜组平台(1)垂直；

小孔(3)固定在棱镜组平台(1)上，与第一0°高反镜(2)配合完成装调基准确定的功能；

导轨(4)固定在基板上；

精密转台(5)通过滑块与导轨(4)相连，可沿导轨自由移动，并可在导轨任意地方锁定，所述精密转台(5)可360°自由旋转，转动锁定后可实现高精度的微调；

自准直仪(6)固定在精密转台上，发出信号光束；

电脑(7)与所述自准直仪(6)相连，用于观测自准直仪(6)接受到的反射光信号；

第二0°高反镜(8)用于校准自准直仪(6)，确定精密转台0°。